2024年8月22日
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韩国威
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中国科学院半导体研究所
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国家自然科学基金
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中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目
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相关领域:
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合作作者
宁瑾
中国科学院大学电子电气与通信工...
司朝伟
清华大学信息科学技术学院电子工...
杨富华
中国科学院半导体研究所
赵永梅
中国科学院半导体研究所
王晓东
中国科学院半导体研究所
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宁瑾
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 牺牲层 谐振器 MEMS 4H-SIC
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司朝伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 锚点 压电层 MEMS 谐振器
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
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赵永梅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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杨健
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:MEMS陀螺仪 压电材料 压电 旋涂 检测电极
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张萌
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 寄生电容 压电层 盖板 检测电极
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刘晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:脉冲发生器 相位噪声 变增益 I/Q 复数滤波器
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童鑫
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:磁强计 传感器误差 控制功能 无线 切换键
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钟卫威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:亚微米 RFMEMS RF_MEMS 滤波器 碳化硅
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