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钟卫威

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电容
  • 1篇电容式
  • 1篇端电极
  • 1篇信号
  • 1篇信号频率
  • 1篇亚微米
  • 1篇射频微机电系...
  • 1篇碳化硅
  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微米
  • 1篇谐振
  • 1篇谐振频率
  • 1篇谐振式
  • 1篇滤波器
  • 1篇机翼
  • 1篇封装
  • 1篇风力

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇司朝伟
  • 3篇韩国威
  • 3篇钟卫威
  • 2篇宁瑾
  • 1篇杨富华
  • 1篇赵永梅
  • 1篇康中波

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制被引量：3
2012年
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接两个结构尺寸和谐振频率完全相同的MEMS双端固支梁谐振器构成,MEMS谐振器的结构决定了滤波器的中心频率,弹性耦合梁的刚度决定了滤波器的带宽。在大气环境下测试器件的频响特性,得到中心工作频率为41.5MHz,带宽为3.5MHz,品质因数Q为11.8。
康中波韩国威司朝伟钟卫威赵永梅宁瑾
关键词：滤波器碳化硅
谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法
本发明公开了一种谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法，该传感器包括：衬底；形成于衬底上的绝缘层；形成于绝缘层上的条形检测电极；形成于绝缘层上且位于条形检测电极两侧的两个条形驱动电极；横跨于两个条形驱动电极之上与条形...
钟卫威司朝伟韩国威宁瑾杨富华
文献传递
调节电容式MEMS陀螺仪检测端谐振频率的电路和方法
本发明公开了一种自动调节电容式MEMS陀螺仪的检测端谐振频率的电路，所述电容式MEMS陀螺仪包括中心质量块、驱动端和检测端，驱动端包括驱动端电极，检测端包括检测端电极，所述检测端电极具有一输入端，该输入端用于输入一偏置电...
韩国威司朝伟钟卫威
文献传递
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