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康中波

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电极
  • 1篇电极对
  • 1篇压电
  • 1篇压电材料
  • 1篇亚微米
  • 1篇阵列
  • 1篇阵列结构
  • 1篇射频微机电系...
  • 1篇碳化硅
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微米
  • 1篇谐振器
  • 1篇滤波器
  • 1篇锚点
  • 1篇矩阵式
  • 1篇RF_MEM...
  • 1篇RFMEMS

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇司朝伟
  • 2篇宁瑾
  • 2篇韩国威
  • 2篇康中波
  • 1篇赵永梅
  • 1篇钟卫威

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于谐振原理的RF MEMS滤波器的研制被引量：3
2012年
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果做出分析。该RF MEMS滤波器由弹性耦合梁连接两个结构尺寸和谐振频率完全相同的MEMS双端固支梁谐振器构成,MEMS谐振器的结构决定了滤波器的中心频率,弹性耦合梁的刚度决定了滤波器的带宽。在大气环境下测试器件的频响特性,得到中心工作频率为41.5MHz,带宽为3.5MHz,品质因数Q为11.8。
康中波韩国威司朝伟钟卫威赵永梅宁瑾
关键词：滤波器碳化硅
采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器
一种采用压电材料制备的阵列微机电谐振器结构，包括：一激励平板谐振器；一输出平板谐振器；多个储能平板谐振器，其为菱形矩阵式叠置，其是通过边角直接互相接触连接，其中最上面的两个储能平板谐振器与激励平板谐振器通过边角直接接触连...
康中波司朝伟宁瑾韩国威
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