张攀峰
- 作品数：12 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 载气流量对氧化锌纳米棒阵列的影响(英文)
- 2008年
- 本文研究了在金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长过程中,锌(Zn)源和氧(O)源载气流量的改变对ZnO纳米棒阵列的影响。通过改变源材料载气的流量,得到了直径从150nm到20nm范围、均一性明显改善的ZnO纳米棒。采用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射图谱(XRD),拉曼光谱(Raman)和光致荧光光谱(PL)等测试手段对样品的形貌结构和光学特性进行了表征。SEM和XRD结果表明当Zn源和O源的载气流量均为1SLM时,所得的纳米棒直径最均匀,排列整齐,垂直于衬底生长,且结晶度最好。PL谱显示纳米棒的紫外带边峰发生了蓝移,可能与表面效应的增加有关。
- 蔡芳芳魏鸿源范海波杨安丽张攀峰刘祥林
- 关键词：氧化锌纳米棒MOCVD形貌
- 一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
- 本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置，包括：衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度，而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区，...
- 杨少延刘祥林赵凤瑷焦春美董向芸张晓沛范海波魏宏源张攀峰王占国
- 文献传递
- ZnO薄膜生长及相关物性研究
- ZnO作为一种重要的直接带隙的宽禁带材料，它可用于制作平板显示器件、发光二极管、激光器等光电子器件。为了制作上述的器件和实现上述的用途，如何生长出高质量的ZnO薄膜材料是根本所在。本论文以ZnO薄膜生长和相关物性的研究为...
- 张攀峰
- δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法
- 一种δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法，包括：步骤1：将清洗好的衬底放入反应室中，将反应室抽至真空，升高温度进行烘烤，以获得清洁衬底；步骤2：向反应室中充入氮气，将反应室压强升至生长压强，将衬底温度控制到生长温度；步骤3：向...
- 魏鸿源刘祥林张攀峰焦春美王占国
- 文献传递
- 不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响被引量：1
- 2007年
- 在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了,面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的迁移,从而实现ZnO的二维生长.发现甲醇作为氧源生长的薄膜晶体质量跟氧气作为氧源的相比有较大提高,这可能源于预反应的减弱和甲醇的表面活化作用.在r面蓝宝石上用甲醇作为氧源生长出了表面平整的ZnO薄膜,其(1012)面的非对称衍射的摇摆曲线半高宽仅0.10.
- 张攀峰魏鸿源范海波丛光伟杨少延朱勤生刘祥林
- 关键词：ZNO蓝宝石XRDSEM
- 氧化锌基的蓝光发光二极管及其制备方法
- 一种氧化锌基的蓝光发光二极管，包括：一衬底，该衬底为圆形；一缓冲层制作在衬底上，该缓冲层有利于提高材料的外延生长质量；一n－氧化锌层制作在缓冲层上，在该n－氧化锌层的边缘刻蚀出环形台阶，该n－氧化锌层有利于作出环形金/钛...
- 张攀峰丛伟光魏鸿源刘祥林
- 文献传递
- 一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
- 本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置，包括：衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度，而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区，...
- 杨少延刘祥林赵凤瑷焦春美董向芸张晓沛范海波魏宏源张攀峰王占国
- 文献传递
- δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法
- 一种δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法，包括：步骤1：将清洗好的衬底放入反应室中，将反应室抽至真空，升高温度进行烘烤，以获得清洁衬底；步骤2：向反应室中充入氮气，将反应室压强升至生长压强，将衬底温度控制到生长温度；步骤3：向...
- 魏鸿源刘祥林张攀峰焦春美王占国
- 文献传递
- 生长氧化锌纳米棒阵列的方法
- 本发明提供一种生长氧化锌纳米棒阵列的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在MOCVD设备中利用载气通入锌源，在衬底上生长一层锌隔离层；步骤3：在MOCVD设备中利用载气通入锌源和氧气，使得在锌隔离层...
- 范海波杨少延张攀峰魏鸿源刘祥林朱勤生陈涌海王占国
- 文献传递
- 一种强磁场的霍尔效应测试装置及其测试方法
- 本发明设计了一种强磁场的霍尔效应测试装置。该装置由外延片、电磁铁组、恒流源、极性控制电路、可控稳压源、测量电路、计算机、三相交流电、温控装置连接构成。该测试方法步骤：(1)将外延片做好电极，连接好导线；(2)接通三线交流...
- 张攀峰吴洁君胡卫国刘祥林
- 文献传递
