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宗登刚

作品数：5 被引量：20H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>

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地区

  • 4个上海市
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共 5 条 记 录，以下是 1-5
王钻开
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 微机械 固有频率 微机械加速度传感器 压敏电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王聪和
供职机构：香港理工大学
研究主题：残余应力 微机械 热扩散率 杨氏模量 基底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈刚
供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题：残余应力 杨氏模量 氮化硅薄膜 力学性能 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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