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鲍海飞

作品数：77 被引量：63H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

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领域

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主题

  • 26篇加速度
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  • 16篇传感
  • 16篇传感器
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  • 14篇加速度传感器
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  • 7篇金属杆
  • 7篇机电系统
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  • 7篇电系统
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  • 6篇敏度

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作者

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年份

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  • 1篇2002
  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 3篇1999
共 77 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究被引量：5
2006年
介绍了微机电系统(M EM S)中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析.采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石(DLC)膜,通过扫描电子显微镜(SEM)表征未发生黏附的悬臂梁最长长度.发现衬底上有DLC膜时,未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm;而无DLC膜时,平均不到80μm.利用原子力显微镜(AFM)测得DLC膜表面的黏附力在7 nN左右,而硅衬底表面的黏附力大约为20 nN.实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力,减轻了多晶硅悬臂梁的黏附.
李新唐祯安徐军鲍海飞
关键词：类金刚石膜微机电系统悬臂梁
原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定被引量：5
2005年
　利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征.本文简要地论述了原子力显微镜中微悬臂梁的形变光反射原理和探针与表面的接触刚度理论,阐明了微悬臂梁横向力标定的重要性,综述了目前几种微悬臂梁/探针横向力的标定方法、简单的推倒过程和特点.
鲍海飞李昕欣王跃林
关键词：原子力显微镜微悬臂梁横向力探针表面性质标定方法
压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法
本发明涉及一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模...
鲍海飞李昕欣宋朝辉刘民
文献传递
非晶态Se薄膜的自发晶化研究被引量：4
2001年
利用真空热蒸镀的方法制备了非晶Se薄膜 ,测试了稳定的非晶Se薄膜、不稳定的非晶Se薄膜和初始自发晶化的非晶Se薄膜的透射率光谱和拉曼光谱。对透射率光谱曲线进行了拟合 ,计算了薄膜的厚度和折射率随波长的变化关系。在自发晶化过程中 ,Se薄膜折射率逐渐增大 ;随波长增大 ,折射率则减小。初始自发晶化的Se薄膜其透射率低于非晶Se薄膜 ,光学吸收边向长波长方向移动。拉曼光谱测试表明 ,非晶Se薄膜在自发晶化过程中 ,出现标志Se8环和链的结构 ,不完整的环和链结构在自发晶化过程中得到了增强。
鲍海飞叶水驰王利平王骐
关键词：拉曼光谱
一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法
本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法，特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源，当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时，器件高量程压...
鲍海飞宋朝辉李昕欣姜伟
文献传递
非晶态Se及掺杂Sb的Se薄膜晶化特性研究被引量：1
1998年
利用光学显微镜和Ｘ射线衍射技术，分析了非晶态Ｓｅ和掺杂Ｓｂ的Ｓｅ薄膜的晶化特性。Ｓｅ薄膜由于保存周期不同以及Ｓｂ掺杂到Ｓｅ中的Ｓｂ含量的多少都会影响Ｓｅ的晶化特性；在热处理下薄膜的晶化呈现各向异性的择优生长。分析了晶化过程中微裂纹的产生，晶界的产生和体积收缩。薄膜与衬底之间的热应力是产生微裂纹的主要因素。
叶水驰鲍海飞蓝慕杰
关键词：晶化微裂纹硒锑非晶态
带有温度控制的离心机转盘温度测试系统
本发明提供一种带有温度控制的离心机转盘温度测试系统，带有温度控制的离心机转盘温度测试系统包括：导电滑环，位于转盘的表面，包括主体、固定接线柱、固定轴及多组引出线；固定接线柱位于主体外围，固定轴位于主体内部，引出线一端经由...
鲍海飞刘民李昕欣
文献传递
1.3υm超辐射发光管的研究
鲍海飞
一种冲击型加速度计热灵敏度漂移的测试装置及测试方法
本发明涉及一种冲击型加速度计灵敏度随温度变化的测试装置，包括温控箱、金属杆、气动系统、加速度计信号放大器、激光干涉测速装置、和用于数据采样及数据处理的计算机，金属杆由一支撑结构水平支撑并可轴向自由移动，其一端与气动系统相...
鲍海飞刘民宋朝辉李昕欣
文献传递
基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统被引量：4
2007年
原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展。基于原子力显微镜中的一个最基本的力—位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试。相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取。
鲍海飞李昕欣张波郭久福韩建强
关键词：原子力显微镜硬件软件悬臂梁力学测试
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