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李欣健
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西华大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
罗磊
西华大学材料科学与工程学院
张丽珍
西华大学材料科学与工程学院
谭刚
西华大学材料科学与工程学院
廖凤娟
西华大学材料科学与工程学院
赵广彬
西华大学材料科学与工程学院
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西华大学学报...
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2014
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铝靶电流对TiAlN薄膜组织结构与性能的影响
被引量:3
2014年
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在YG6硬质合金表面沉积Ti Al N薄膜,研究Al靶的溅射电流对TixAl1-xN薄膜组织结构与性能的影响。利用X线衍射仪、扫描电子显微镜和显微硬度仪等分析仪器对制备的TixAl1-xN薄膜的相结构、表面形貌和显微硬度进行测试分析。测试结果表明:膜层中存在Ti3Al N、Al N相,且Ti3Al N沿(220)晶面择优取向。SEM测试表明,随Al靶功率的提高,膜层晶粒结构变得更致密。显微硬度仪测得薄膜平均硬度最高可达2 980 HV。
廖凤娟
赵广彬
谭刚
罗磊
张丽珍
何迪
李欣健
关键词:
TIAL
非平衡磁控溅射
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