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李欣健

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：西华大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇铝靶
  • 1篇非平衡磁控溅...
  • 1篇TIAL
  • 1篇TIALN薄...
  • 1篇AL
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇N

机构

  • 1篇西华大学

作者

  • 1篇何迪
  • 1篇赵广彬
  • 1篇廖凤娟
  • 1篇谭刚
  • 1篇张丽珍
  • 1篇罗磊
  • 1篇李欣健

传媒

  • 1篇西华大学学报...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铝靶电流对TiAlN薄膜组织结构与性能的影响被引量：3
2014年
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在YG6硬质合金表面沉积Ti Al N薄膜,研究Al靶的溅射电流对TixAl1-xN薄膜组织结构与性能的影响。利用X线衍射仪、扫描电子显微镜和显微硬度仪等分析仪器对制备的TixAl1-xN薄膜的相结构、表面形貌和显微硬度进行测试分析。测试结果表明:膜层中存在Ti3Al N、Al N相,且Ti3Al N沿(220)晶面择优取向。SEM测试表明,随Al靶功率的提高,膜层晶粒结构变得更致密。显微硬度仪测得薄膜平均硬度最高可达2 980 HV。
廖凤娟赵广彬谭刚罗磊张丽珍何迪李欣健
关键词：TIAL非平衡磁控溅射
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