张丽珍
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 供职机构：西华大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 硬质合金高温化学气相沉积TiC涂层工艺研究被引量：4
- 2015年
- 采用高温化学气相沉积在YG8基体上制备Ti C涂层,研究沉积温度、沉积时间、H2流量、H2/CH4(流量比)以及Ti Cl4流量对镀层的抗弯曲强度、膜基结合力及表面显微硬度的影响,并通过正交试验优化工艺参数。结果表明:当沉积温度为1 000℃,沉积时间为90 min,H2流量为400 ml,H2/CH4(流量比)为15∶1,Ti Cl4流量为80 m L时,镀层具有优良的性能,抗弯曲强度达到1 100 N,表面显微硬度达到3 228 HV,膜基结合力达到90 N。
- 张丽珍赵广彬罗磊安小建陈梽雄
- 关键词：碳化钛化学气相沉积硬质合金
- 铝靶电流对TiAlN薄膜组织结构与性能的影响被引量：3
- 2014年
- 采用非平衡磁控溅射离子镀技术在YG6硬质合金表面沉积Ti Al N薄膜,研究Al靶的溅射电流对TixAl1-xN薄膜组织结构与性能的影响。利用X线衍射仪、扫描电子显微镜和显微硬度仪等分析仪器对制备的TixAl1-xN薄膜的相结构、表面形貌和显微硬度进行测试分析。测试结果表明:膜层中存在Ti3Al N、Al N相,且Ti3Al N沿(220)晶面择优取向。SEM测试表明,随Al靶功率的提高,膜层晶粒结构变得更致密。显微硬度仪测得薄膜平均硬度最高可达2 980 HV。
- 廖凤娟赵广彬谭刚罗磊张丽珍何迪李欣健
- 关键词：TIAL非平衡磁控溅射
