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张萌

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇电极
  • 3篇寄生电容
  • 2篇电容式
  • 2篇电容式传感器
  • 2篇压电
  • 2篇压电层
  • 2篇引线
  • 2篇谐振器
  • 2篇面内
  • 2篇晶圆
  • 2篇晶圆级封装
  • 2篇检测电极
  • 2篇封装
  • 2篇盖板
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电路
  • 1篇电路芯片
  • 1篇电容

机构

  • 5篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 5篇张萌
  • 3篇司朝伟
  • 3篇宁瑾
  • 3篇韩国威
  • 2篇赵永梅
  • 1篇杨富华

年份

  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2016
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
盖板结构及其制作方法、电容式传感器
本发明公开了一种盖板结构及其制作方法、电容式传感器，该盖板结构，用于微机电器件晶圆级封装，包括：密封盖板，其上设有一凹槽，该凹槽形成一容置空间；电极板，位于凹槽形成的容置空间之内，与凹槽左右两侧的密封盖板之间存在间隙；第...
张萌司朝伟韩国威宁瑾杨富华刘雯颜伟
文献传递
电容式微纳超声换能器及其制备方法
本发明公开了一种电容式微纳超声换能器及其制备方法。该电容式微纳超声换能器包括：衬底；凹槽阵列，包括多个阵列式排布的凹槽，该凹槽形成容置空间，设置于衬底的上表面；下电极板，设置于凹槽阵列的容置空间之内；上电极板，设置于凹槽...
张萌韩国威司朝伟宁瑾杨富华
文献传递
环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法
本发明公开了一种环形检测电极面内伸缩谐振器及其制备方法。所述谐振器包括：依次生长在衬底上的下电极缓冲层、下电极层、压电层、绝缘保护层和上电极层，该面内伸缩谐振器的主体结构包括通过中间的耦合梁连接的圆形平板驱动单元和检测单...
张萌宁瑾司朝伟韩国威赵永梅
盖板结构及其制作方法、电容式传感器
本发明公开了一种盖板结构及其制作方法、电容式传感器，该盖板结构，用于微机电器件晶圆级封装，包括：密封盖板，其上设有一凹槽，该凹槽形成一容置空间；电极板，位于凹槽形成的容置空间之内，与凹槽左右两侧的密封盖板之间存在间隙；第...
张萌司朝伟韩国威宁瑾杨富华刘雯颜伟
环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法
本发明公开了一种环形检测电极面内伸缩谐振器及其制备方法。所述谐振器包括：依次生长在衬底上的下电极缓冲层、下电极层、压电层、绝缘保护层和上电极层，该面内伸缩谐振器的主体结构包括通过中间的耦合梁连接的圆形平板驱动单元和检测单...
张萌宁瑾司朝伟韩国威赵永梅
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