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董向芸
作品数:
5
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘祥林
中国科学院半导体研究所
杨少延
中国科学院半导体研究所
张晓沛
中国科学院半导体研究所
王占国
中国科学院半导体研究所
焦春美
中国科学院半导体研究所
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张晓沛
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杨少延
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赵凤瑷
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年份
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1篇
2008
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2006
1篇
2004
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生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构
一种生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构,包括:一上罩机构为一桶状,底部开有一圆孔,侧壁上开有一侧孔;一下罩机构为一管状,该上罩机构、下罩机构固接;一辅气气嘴机构包括:一柱体,下面固接有一喇叭口;一三路喷气气...
丛光伟
刘祥林
董向芸
魏宏源
王占国
文献传递
氮化镓激光器的关键技术研究
刘祥林
谢子燕
陆大成
王晓辉
黎大兵
焦春美
魏鸿源
丛光伟
董向芸
蒋全
李书田
全世界每年需要生长GaN的MOCVD设备约100台。我国大陆每年进口5台,用于GaN蓝绿光发光二极管的生产和研究。如果每台按700万计算,全世界生长GaN的MOCVD设备每年的销售额达到至少7亿元人民币。随着“国家半导体...
关键词:
关键词:
MOCVD
一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置,包括:衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度,而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区,...
杨少延
刘祥林
赵凤瑷
焦春美
董向芸
张晓沛
范海波
魏宏源
张攀峰
王占国
文献传递
一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置,包括:衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度,而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区,...
杨少延
刘祥林
赵凤瑷
焦春美
董向芸
张晓沛
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一种恒温装置及其控制方法
本发明涉及半导体材料生长技术领域,公开了一种恒温装置,该恒温装置包括加热器、致冷器、搅伴器、温度传感器和控制单元,该控制单元包括PID温度控制器和开关模式温度控制器,根据温度传感器所测的温度,所述PID温度控制器通过PI...
张日清
刘祥林
杨少延
张晓沛
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