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张晓沛
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
杨少延
中国科学院半导体研究所
董向芸
中国科学院半导体研究所
刘祥林
中国科学院半导体研究所
范海波
中国科学院半导体研究所
赵凤瑷
中国科学院半导体研究所
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传感
1篇
传感器
机构
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中国科学院
作者
3篇
刘祥林
3篇
张晓沛
3篇
董向芸
3篇
杨少延
2篇
魏宏源
2篇
张攀峰
2篇
焦春美
2篇
王占国
2篇
赵凤瑷
2篇
范海波
1篇
张日清
年份
1篇
2010
1篇
2009
1篇
2008
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一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置,包括:衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度,而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区,...
杨少延
刘祥林
赵凤瑷
焦春美
董向芸
张晓沛
范海波
魏宏源
张攀峰
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一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置,包括:衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度,而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区,...
杨少延
刘祥林
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一种恒温装置及其控制方法
本发明涉及半导体材料生长技术领域,公开了一种恒温装置,该恒温装置包括加热器、致冷器、搅伴器、温度传感器和控制单元,该控制单元包括PID温度控制器和开关模式温度控制器,根据温度传感器所测的温度,所述PID温度控制器通过PI...
张日清
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