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张晓沛

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇导热
  • 2篇氧化锌薄膜
  • 2篇生长温度
  • 2篇开关时间
  • 2篇不锈钢外壳
  • 2篇衬底
  • 1篇致冷
  • 1篇致冷器
  • 1篇温度传感器
  • 1篇温度控制
  • 1篇温度控制器
  • 1篇开关模式
  • 1篇控制方法
  • 1篇控制器
  • 1篇加热器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇刘祥林
  • 3篇张晓沛
  • 3篇董向芸
  • 3篇杨少延
  • 2篇魏宏源
  • 2篇张攀峰
  • 2篇焦春美
  • 2篇王占国
  • 2篇赵凤瑷
  • 2篇范海波
  • 1篇张日清

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置，包括：衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度，而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区，...
杨少延刘祥林赵凤瑷焦春美董向芸张晓沛范海波魏宏源张攀峰王占国
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一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置，包括：衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度，而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区，...
杨少延刘祥林赵凤瑷焦春美董向芸张晓沛范海波魏宏源张攀峰王占国
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一种恒温装置及其控制方法
本发明涉及半导体材料生长技术领域，公开了一种恒温装置，该恒温装置包括加热器、致冷器、搅伴器、温度传感器和控制单元，该控制单元包括PID温度控制器和开关模式温度控制器，根据温度传感器所测的温度，所述PID温度控制器通过PI...
张日清刘祥林杨少延张晓沛董向芸
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