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黄岚

作品数：4 被引量：5H指数：1
供职机构：华南理工大学更多>>
相关领域：电子电信医药卫生理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇医药卫生
  • 1篇理学

主题

  • 3篇应力
  • 3篇硅
  • 2篇光弹性
  • 1篇导体
  • 1篇镀膜机
  • 1篇应力测定
  • 1篇应力分析
  • 1篇元素半导体
  • 1篇窄带滤光片
  • 1篇真空镀膜
  • 1篇真空镀膜机
  • 1篇实时监控
  • 1篇实时监控系统
  • 1篇微米
  • 1篇滤光片
  • 1篇晶片
  • 1篇晶体
  • 1篇扩散
  • 1篇监控系统
  • 1篇光谱

机构

  • 4篇华南理工大学

作者

  • 4篇黄岚
  • 2篇赵寿南
  • 1篇潘永雄
  • 1篇梁汉成

传媒

  • 1篇华南理工大学...
  • 1篇红外研究

年份

  • 1篇2004
  • 1篇1994
  • 1篇1989
  • 1篇1987
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
硅片中氧化应力及封装应力的测量及研究
黄岚
关键词：应力测定应力分析
硅晶片氧化应力的红外光弹性测量及研究被引量：4
1989年
本文利用红外激光光弹性仪,采用光测弹性力学中的Senarmont补偿法,解决了硅晶片小数级条纹值定量测量问题.在考虑硅晶体光弹性效应各向异性的基础上,实测了(111)、(100)单晶硅片的原始应力及氧化应力.对硅晶片原始应力的产生与消除、氧化应力在硅中的分布、氧化应力与氧化层厚度的关系、氧化应力随时间的变化等进行了研究.
黄岚梁汉成赵寿南
关键词：硅应力光弹性晶体
CWDM中1.55微米窄带滤光片的设计和制备
该文简要的介绍了光学薄膜的理论基础,讨论了膜系的特征矩阵.通过它可以知道膜系的光谱特征,包括透射率,反射率,反射系数等光学参数.对单层膜系和多层膜系的分析和计算通常都是通过计算膜系的特征矩阵进行的.在系统的学习和掌握光学...
黄岚
关键词：微米窄带滤光片光谱性能实时监控系统真空镀膜机
文献传递
扩散应力的测量及消除被引量：1
1994年
本文采用光弹力学中的Ｓｅｎａｒｍｏｎｔ补偿法，用红外光弹仪测量并分析了单面扩散、双面扩散工艺在硅衬底中引入应力的分布规律及产生机理。研究了双源补偿扩散法掺杂技术消除应力的可行性及工艺条件。
黄岚赵寿南祝忠华潘永雄
关键词：硅应力扩散光弹性
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