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梁汉成

作品数：4 被引量：6H指数：2
供职机构：华南理工大学理学院物理系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇应力
  • 3篇晶体
  • 3篇红外
  • 2篇单晶
  • 2篇硅单晶
  • 2篇硅晶
  • 2篇红外光
  • 2篇硅
  • 1篇单晶体
  • 1篇电视
  • 1篇电视监视
  • 1篇电视监视器
  • 1篇电视摄像
  • 1篇电视摄像机
  • 1篇摄像
  • 1篇摄像机
  • 1篇数据传输
  • 1篇数据传输接口
  • 1篇自动检测系统
  • 1篇离子注入

机构

  • 4篇华南理工大学

作者

  • 4篇梁汉成
  • 3篇赵寿南
  • 1篇黄岚
  • 1篇蒋连生
  • 1篇覃甘明

传媒

  • 2篇红外研究
  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 1篇1990
  • 2篇1989
  • 1篇1985
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究被引量：1
1990年
根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进行了研究。
蒋连生赵寿南梁汉成
关键词：晶体硅离子注入应力
硅晶片氧化应力的红外光弹性测量及研究被引量：4
1989年
本文利用红外激光光弹性仪,采用光测弹性力学中的Senarmont补偿法,解决了硅晶片小数级条纹值定量测量问题.在考虑硅晶体光弹性效应各向异性的基础上,实测了(111)、(100)单晶硅片的原始应力及氧化应力.对硅晶片原始应力的产生与消除、氧化应力在硅中的分布、氧化应力与氧化层厚度的关系、氧化应力随时间的变化等进行了研究.
黄岚梁汉成赵寿南
关键词：硅应力光弹性晶体
硅单晶中应力的研究
梁汉成
关键词：应力单晶体
硅单晶应力自动检测系统被引量：2
1989年
介绍了一种利用微型计算机自动采集和处理数据的硅单晶应力检测系统。该系统由红外光源、偏振元件、样品架、红外摄像机、电视监视器、专用I/O 接口以及微型计算机组成。用自己设计的软件对光弹图形进行处理,得到样片中各点的应力分布。
梁汉成覃甘明赵寿南
关键词：硅单晶自动检测系统红外摄像机电视监视器数据传输接口电视摄像机
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