您的位置： 专家智库 > >

蒋连生

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：华南理工大学理学院物理系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇医药卫生

主题

  • 3篇应力
  • 3篇离子注入
  • 3篇硅
  • 2篇扩散
  • 1篇晶体
  • 1篇硅晶
  • 1篇硅晶体
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇掺杂

机构

  • 3篇华南理工大学

作者

  • 3篇蒋连生
  • 1篇赵寿南
  • 1篇梁汉成

传媒

  • 1篇红外研究

年份

  • 1篇1990
  • 1篇1989
  • 1篇1900
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
硅中离子注入应力及变补偿扩散的研究
蒋连生
硅中离子注入应力及应变补偿扩散的研究
蒋连生
硅晶体中离子注入应力的红外光弹性测量及研究被引量：1
1990年
根据光弹性原理,利用红外光弹性测量系统,采用Senarmont补偿法,对离子注入工艺应力进行了测量。对离子注入工艺应力、退火后应力、应力的分布、应力随剂量和表面浓度的变化进行了研究。
蒋连生赵寿南梁汉成
关键词：晶体硅离子注入应力
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0