2025年2月1日
星期六
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苏言
作品数:
3
被引量:12
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
童鑫
中国科学院大学材料科学与光电技...
刘楠
中国科学院大学材料科学与光电技...
韩国威
中国科学院半导体研究所
宁瑾
中国科学院大学电子电气与通信工...
司朝伟
中国科学院半导体研究所
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韩国威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 电极 MEMS 压电层 掩膜
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宁瑾
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 牺牲层 锚点 MEMS 4H-SIC
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司朝伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 电极 压电层 MEMS 谐振器
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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童鑫
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:磁强计 传感器误差 控制功能 无线 切换键
发表作品
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供职机构
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刘楠
供职机构:中国科学院
研究主题:形态解剖结构 磁强计 传感器误差 控制功能 无线
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供职机构
所获资助
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
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