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杨志欣
作品数:
6
被引量:6
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
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相关领域:
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合作作者
张男男
河北工业大学信息工程学院微电子...
程川
河北工业大学信息工程学院微电子...
高宝红
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
李炎
河北工业大学信息工程学院微电子...
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张男男
供职机构:河北工业大学
研究主题:BDD 薄膜电极 表面活性剂 HFCVD 电化学特性
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高宝红
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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程川
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:电化学 表面活性剂 BDD 大分子 腐蚀速率
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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李炎
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:聚苯胺 防腐涂料 磨料 涂料 聚苯胺复合
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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洪娇
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:腐蚀电位 腐蚀电流 化学机械平坦化
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王傲尘
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:磨料 化学机械平坦化 CMP 去除速率 化学反应动力学
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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张玉峰
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 表面活性剂 表面粗糙度 阻挡层
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