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田巧伟

作品数：5 被引量：8H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项国家科技重大专项河北省高等学校科学技术研究指导项目更多>>
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地区

  • 13个天津市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
高宝红
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘楠
供职机构：河北工业大学
研究主题：地下水 铜布线 CMP 化学机械抛光 环境容量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄妍妍
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 外延层 气相 掺硼金刚石膜电极 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟东
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨飞
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：铜布线 CMP 非离子表面活性剂 化学机械抛光 BTA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨志欣
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：表面活性剂 BDD CMP 化学机械抛光 大分子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑伟艳
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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