2024年8月24日
星期六
|
欢迎来到南京江宁区图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
黄妍妍
作品数:
22
被引量:5
H指数:1
供职机构:
河北工业大学
更多>>
发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
河北省高等学校科学技术研究指导项目
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
一般工业技术
金属学及工艺
更多>>
合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
高宝红
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
张建新
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘楠
河北工业大学信息工程学院微电子...
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
11篇
专利
8篇
期刊文章
2篇
科技成果
1篇
会议论文
领域
8篇
电子电信
2篇
自动化与计算...
1篇
化学工程
1篇
金属学及工艺
1篇
一般工业技术
主题
4篇
电极
4篇
气相
4篇
外延层
4篇
膜电极
4篇
金刚石膜电极
4篇
化学机械抛光
4篇
机械抛光
4篇
硅片
3篇
电化学
3篇
液晶
3篇
液晶屏
3篇
清洗剂
3篇
硅片表面
3篇
掺硼金刚石膜...
3篇
超声波清洗
2篇
电化学氧化
2篇
氧化液
2篇
液晶盒
2篇
有机物
2篇
铜布线
机构
22篇
河北工业大学
1篇
石家庄经济学...
作者
22篇
黄妍妍
15篇
刘玉岭
13篇
高宝红
9篇
檀柏梅
8篇
张建新
3篇
田巧伟
3篇
刘楠
2篇
王胜利
2篇
王娟
2篇
牛新环
2篇
康军广
2篇
何彦刚
2篇
边勇超
2篇
周建伟
2篇
苏伟东
1篇
苗娇
1篇
张凤全
1篇
张西慧
1篇
周强
1篇
周静
传媒
2篇
液晶与显示
2篇
微纳电子技术
1篇
半导体技术
1篇
Journa...
1篇
功能材料
1篇
微电子学
年份
1篇
2020
1篇
2019
1篇
2015
1篇
2014
2篇
2013
5篇
2012
2篇
2010
1篇
2009
3篇
2008
4篇
2007
1篇
2006
共
22
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
CMP专用纳米磨料生长粒径控制技术研究
刘玉岭
王娟
檀柏梅
李薇薇
张西慧
周建伟
张建新
高金雍
王胜利
黄妍妍
牛新环
该课题组粒径可控为微电子CMP多种用途提供了高质无污染、高纯、高浓度SiO_2纳米磨料,建立了硅溶胶生长机理,采用控制粒子数多级分次生长等液面法,制备出所需粒径范围内的产品,实现粒径可控生长;运用阳-阴-阳三步离子树脂交...
关键词:
关键词:
硅溶胶
粒径控制
一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液
本发明公开了一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液。本发明所述抛光液中包含研磨颗粒、络合剂、氧化剂,表面活性剂、抑菌剂和水,抑菌剂的含量为重量百分比0.001~1%;研磨颗粒含量为重量百分比3~15%;络合剂的含量为重量...
何彦刚
王娟
唐继英
黄妍妍
武鹏
洪姣
王胜利
刘玉岭
文献传递
一种去除铜晶圆表面颗粒抑制电偶腐蚀的碱性清洗液
本发明为一种去除铜晶圆表面颗粒抑制电偶腐蚀的碱性清洗液。该清洗液的组成包括多元表面活性剂,以及螯合剂、抑制剂、pH调节剂和去离子水;各组分所占清洗液的质量百分比为:表面活性剂0.1~1wt%、螯合剂0.01~0.1wt%...
檀柏梅
田思雨
张男男
王淇
黄妍妍
刘孟瑞
王亚珍
文献传递
一种红外反射法测硅基图形片表面苯并三唑浓度的方法
本发明公开了一种红外反射法测硅基图形片表面苯并三唑(BTA)的方法。本发明按照下述步骤进行:将干燥后的苯并三唑分别配制成0.1mol/L-0.15mol/L、0.15mol/L-0.2mol/L、0.2mol/L-0.2...
潘国峰
刘玉岭
高宝红
周建伟
黄妍妍
邵琳伟
文献传递
厚度一致的硅气相外延层的生长装置及生长方法
本发明公开了一种厚度一致的硅气相外延层的生长装置及生长方法,旨在提供一种外延层厚度一致,便于操作,效率高的硅气相外延层的生长装置及生长方法。该生长装置包括基座本体,在基座本体上有安放槽,安放槽底部的边缘有宽度为1~3mm...
刘玉岭
张建新
黄妍妍
文献传递
一种碱性集成电路布线抛光后低k介质清洗剂及其清洗方法
本发明为一种碱性集成电路布线抛光后低k介质清洗剂及其清洗方法。所述的清洗剂的组成包括非离子表面活性剂、两性表面活性剂、pH调节剂和去离子水,其中,非离子表面活性剂质量是水的质量的0.3%‑2%;两性表面活性剂的质量为去离...
高宝红
曲里京
黄妍妍
张保国
何彦刚
文献传递
厚度一致的硅气相外延层的生长装置及生长方法
本发明公开了一种厚度一致的硅气相外延层的生长装置及生长方法,旨在提供一种外延层厚度一致,便于操作,效率高的硅气相外延层的生长装置及生长方法。该生长装置包括基座本体,在基座本体上有安放槽,安放槽底部的边缘有宽度为1~3mm...
刘玉岭
张建新
黄妍妍
文献传递
金刚石膜电化学氧化液的制备及清洗技术研究
被引量:1
2012年
提出了一种采用电化学去除硅片表面有机物的新的清洗方法,用金刚石膜电极作为阳极,电化学氧化硫酸铵溶液生成稳定的强氧化溶液,电解液的氧化性通过间接碘量法测量。通过大量实验,优化初始电解液的浓度以及初始温度等因素,得到氧化强度最佳的电化学清洗液。用自制氧化液进行硅片表面有机物的清洗实验,并与传统的RCA清洗方法进行对比。通过XPS分析可知,采用新的电化学氧化溶液清洗后的硅片表面有机物去除效果明显优于对比实验样品。
张艳
檀柏梅
高宝红
刘玉岭
黄妍妍
关键词:
金刚石膜电极
电化学
有机物
氧化液
液晶屏的清洗方法
本发明公开了一种液晶屏的清洗方法,旨在提供一种能够消除有机物及清洗剂残留,消除水基清洗的环保隐患,满足环保要求的清洗方法。在第一槽中放入液晶屏清洗剂,加热到50-60℃,将装有液晶屏的花篮浸泡在第一槽中,配合超声波或兆声...
刘玉岭
高宝红
檀柏梅
黄妍妍
控制和消除硅气相外延层雾状微缺陷的方法
本发明公开了一种控制和消除硅气相外延层雾状微缺陷的方法,旨在提供一种有效消除雾状微缺陷,而且不增加成本以及工艺和设备的复杂性的控制硅气相外延层雾状微缺陷的方法。包括下述步骤:采用常规的化学机械抛光方法对硅衬底片进行双面抛...
刘玉岭
张建新
黄妍妍
文献传递
全选
清除
导出
共3页
<
1
2
3
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张