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喻波
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
姚舜
中国科学院长春光学精密机械与物...
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
邓文渊
中国科学院长春光学精密机械与物...
靳京城
中国科学院长春光学精密机械与物...
王珣
中国科学院长春光学精密机械与物...
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姚舜
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 深紫外 波段宽带
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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邓文渊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 激光 多层膜 元件
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靳京城
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 极紫外 激光 元件
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王珣
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 多层膜 紫外光刻 紫外波段 极紫外光刻
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李春
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:深紫外 多层膜 光学薄膜 氟化物 激光损伤
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匡尚奇
供职机构:长春理工大学理学院
研究主题:极紫外 多层膜 膜系 宽光谱 量子进化算法
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王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
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周烽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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谢耀
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
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