金春水
- 作品数：351 被引量：261H指数：8
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 用于超高真空中实现转角精密传动的装置及其控制方法
- 用于超高真空中实现转角精密传动装置及其控制方法涉及光学精密机械领域，其包括不锈钢拉簧、构件连接座、转动臂、消间隙固紧螺钉、球形滚动体、精密轴承、限位套、精密支承轴、轴向微调螺母、轴承压盖、防松螺母、调整垫、紧固螺母、弹簧...
- 彭忠琦卢启鹏金春水
- 一种光学检测平台及光学检测方法
- 本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种光学检测平台，包括第一平台、第二平台、固定装置、升降模块；所述第一平台，用于放置被检光学元件或干涉装置；所述第二平台，用于放置干涉装置或光学元件，所述第二平台中心位置设置有通孔；所...
- 金春水马冬梅于杰周烽张海涛
- 文献传递
- 一种反射镜支撑调整装置
- 一种反射镜支撑调整装置属于反射镜面形检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的功能单一和价格昂贵的问题，本发明的一种反射镜支撑调整装置包括转动轴承、滑动台、立板和底板；两个所述立板垂直固定在底板相对的两个边上，两个立板内侧...
- 张文龙于杰张海涛王辉苗亮刘钰马冬梅金春水
- 文献传递
- 一种用于真空环境下的光学元件水冷装置
- 一种用于真空环境下的光学元件水冷装置，属于真空环境下光学元件的热变形控制技术领域，涉及一种用于真空环境下的光学元件水冷装置。本发明能够解决真空环境下光学元件的散热问题，同时能够使光学元件更快的达到热平衡。本发明包括背部压...
- 周烽王辉郭本银谢耀王丽萍金春水
- 文献传递
- 采用多种群遗传算法的全景成像系统非球面设计被引量：15
- 2009年
- 提出了一种基于多种群遗传算法（MPGA）的折反射全景成像系统非球面元件的设计方法。结合广义科丁顿公式及几何光学原理,推导出非球面两镜系统像散表达式。在此基础上,利用MPGA,以像散作为非球面两镜系统像差评价参数,求解出满足消像散及指定透视投影关系的非球面面形方程。给出MPGA求解非球面面形的实现过程,并用遗传算法最小二乘混合优化算法得到了便于实现光线追迹和像差计算的非球面多项式。研制了一个焦距为-1.2 mm,F数为1.5,视场为360°×（35-90°）的折反射全景成像系统,给出了实验图像,获得了较好的成像质量。
- 王丽萍张立超何锋赟金春水
- 关键词：非球面多种群遗传算法光学设计
- 一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法
- 一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法属于衰减型掩模优化方法领域，该方法解决了现有技术存在的针对考虑系统所采用的照明方式下的衰减型相移掩模结构没有具体优化方法的技术问题。本发明的优化方法基于遗传算法，用掩模的空间像对...
- 王丽萍金春水王君谢耀
- 软X射线投影光刻技术及其发展被引量：1
- 2002年
- 软X射线投影光刻的研究近年来取得了突破性进展 ,所采用的新型光学系统由无污染激光等离子光源及高分辨率大视场投影光刻系统组成。该技术多采用无应力光学装调工艺、深亚纳米级的镜面加工和多层膜制备技术及低缺陷反射式掩模技术。该技术还采用表面成像光刻胶技术并涉及到精密扫描机构等技术。本文介绍了这一技术的发展历史。
- 金春水曹健林
- 关键词：软X射线投影光刻光学系统集成电路
- X射线衍射仪样品装调误差分析与校正被引量：6
- 2008年
- 使用X射线衍射仪分析样品,测试角度误差的大小影响着分析结果的准确性,而样品装调误差会导致测试角度误差。本文系统分析了样品装调对测试角度误差的影响。结论是,转动误差和偏心误差对测量误差影响较大,一般需要校正;俯仰误差对测量结果影响较小,一般不用校正。实验表明,通过校正样品装调后的转动误差和偏心误差,可以将测量角度随机性误差控制在0.006°(2θ)以内,并将周期厚度为17nm左右的[Mo/Si]多层膜的测试周期厚度精确到0.1nm,为极紫外区高精度膜厚控制提供了保证。
- 朱洪力金春水张立超
- 关键词：X射线衍射仪偏心误差
- 基于遗传算法的磁控溅射调速曲线反演方法
- 本发明公开了一种基于遗传算法的磁控溅射调速曲线反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中磁控溅射调速曲线的反演方法极易陷入局部极小值的问题。本发明的反演方法是通过目标膜厚分布曲线，采用遗传算法反演磁控溅射公转速度...
- 喻波姚舜金春水
- 文献传递
- 极紫外投影光刻原理装置的集成
- 本文论述了光刻技术发展的历程、趋势和极紫外投影光刻技术的特性,并介绍了极紫外投影光刻原理装置的研制工作.该装置由激光等离子体光源、掠入射椭球聚光镜、透射掩模、Schwarzschild微缩投影物镜及相应的真空系统组成.其...
- 金春水马月英裴舒王诚曹健林
- 关键词：极紫外投影光刻
- 文献传递
