2025年4月1日
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蔡士俊
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供职机构:
东南大学
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合作作者
詹娟
东南大学
谢世健
东南大学
张会珍
东南大学
李伟华
东南大学
张中平
东南大学
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张中平
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS CMOS 聚酰亚胺 湿度传感器 微控制器
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詹娟
供职机构:东南大学电子科学与工程学院
研究主题:硅 直接键合 硅片键合 硅直接键合 半导体放电管
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谢世健
供职机构:东南大学
研究主题:MOS开关 MOS集成电路 CMOS 开关电源 电源功率
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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殷刚毅
供职机构:东南大学
研究主题:传感器 检测传感器 路面状态 盐度 城市汽车
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张会珍
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:键合 各向异性腐蚀 硅片直接键合 硅直接键合 硅
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