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刘毅楠
作品数:
10
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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国家高技术研究发展计划
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合作作者
曹健林
中国科学院长春光学精密机械研究...
马月英
中国科学院长春光学精密机械研究...
王占山
中国科学院长春光学精密机械研究...
裴舒
中国科学院长春光学精密机械研究...
曹健林
中国科学院长春光学精密机械与物...
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马月英
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:多层膜 软X射线 软X射线多层膜 光学元件 磁控溅射
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所获资助
研究领域
曹健林
供职机构:中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
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王占山
供职机构:中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:软X射线 多层膜 正入射 软X射线多层膜 随机数
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所获资助
研究领域
曹健林
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
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供职机构
所获资助
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裴舒
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:多层膜 软X射线 均匀性 软X射线多层膜 磁控溅射
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付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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高宏刚
供职机构:中国科学院
研究主题:抛光 超光滑表面 超精密加工 软X射线 多层膜
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徐向东
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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吕俊霞
供职机构:同济大学
研究主题:软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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