马月英
- 作品数：51 被引量：115H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 23.4nm软X射线多层膜反射镜研制被引量：2
- 2011年
- 为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对。设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射率曲线。通过实验优化各种镀膜工艺参数,制备出了23.4 nm的Ti/Si多层膜反射镜。利用X射线衍射仪和软X射线反射率计对Ti/Si多层膜结构和反射率进行检测,测量结果为Ti/Si多层膜反射镜中心波长0λ=23.2nm,正入射峰值反射率为R=25.8%。将Ti/Si多层膜反射镜与软X射线波段常用的Mo/Si多层膜反射镜相比,在23.4 nm处,Ti/Si多层膜反射镜的反射率提高10%,而带宽减小1.8 nm,光学性能显著提高。
- 刘震李旭马月英陈波曹健林
- 关键词：极紫外磁控溅射X射线衍射仪
- 高反射率13nmMo/Si多层膜
- 2001年
- 采用离子束溅射在不同的工艺参数下制备一系列单层 Mo膜、Si膜及多层膜 ,并用原子力显微镜分析单层膜表面粗糙度及两种材料间的界面扩散。当束流电压超过一定数值时 ,可避免单层膜的柱状生长 ;在 Mo- on- Si和 Si- on- Mo界面中 ,Mo- on- Si界面扩散对反射率的影响更大。采用 X射线衍射仪分析多层膜中 Mo、Si材料的晶体结构 ,均为多晶结构 ,其中 Mo为 ( 1 1 0 )晶向 ,Si为 ( 4 0 0 )晶向。根据上述分析优化工艺参数 ,获得的 1 3nm Mo/Si多层膜反射率达到 60 %。
- 刘毅楠马月英曹健林
- 关键词：软X射线多层膜原子力显微镜
- 软X射线激光多层膜均匀性控制技术被引量：2
- 2001年
- 软 X射线激光技术在近年来得以较快的发展 ,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术 ,软 X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平。现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究 ,以期得到更加精确的膜层结构。
- 林炳金春水马月英裴舒曹健林
- 关键词：软X射线激光多层膜
- 一种远紫外宽带反射滤光片
- 本发明涉及一种远紫外宽带反射滤光片，包括：基底和Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜；所述Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜设置在所述基底上；所述Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜...
- 王孝东陈波王海峰何飞刘世界郑鑫马月英
- 文献传递
- 软X射线宽带多层膜设计与实验
- 1999年
- 以周期膜理论为基础 ,改进了已有的设计方法 ,采用随机数的方法在 1 8～ 2 0nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜 ,理论上得到了高于周期膜系 8%的积分反射率 .同时给出了整体的设计步骤 ,并用磁控溅射方法对其进行了制备 .最后的X射线衍射测量和反射率的相对测试表明 ,与周期膜系相比 ,非周期多层膜的带宽展宽 ,反射率积分值增加 ,但峰值反射率略有降低 .膜厚变化的无规律性使得非周期多层膜的制备更加困难 ,进一步提高膜厚控制精度是今后实验的重点 .
- 王占山柯常军马月英张铁强曹健林陈星旦
- 关键词：软X射线多层膜随机数磁控溅射反射率
- 软X射线激光多层膜均匀性控制技术
- 软X射线激光技术在近年来得以较快的发展,而多层膜是其不可缺少的一项基础技术,软X射线激光多层膜本身的要求使得多层膜的结构性需达到很高的水平.现就软X射线激光多层膜的均匀性控制技术进行研究,以期得到更加精确的膜层结构.
- 林炳金春水马月英裴舒曹健林
- 关键词：软X射线激光多层膜
- 文献传递
- 用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件
- 1999年
- 介绍了软X射线Bragg Fresnel光学元件的特点 ,并以磁控溅射法制备多层膜 ,再采用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成波带片图形 ,通过显影。
- 王占山马月英吕俊霞高宏刚刘毅楠裴舒曹健林徐向东洪义麟付绍军
- 关键词：软X射线光学元件多层膜
- 用磁控溅射法制备软X射线多层膜被引量：4
- 1995年
- 本文介绍用直流－射频平面磁控溅射法制备软ｘ射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下，采用计算机定时控制膜厚的方法，严格按照设计周期制备了多层膜样品，并给出了Ｘ射线衍射仪小角衍射的检测结果。
- 张俊平马月英高宏刚陈斌裴舒吕俊霞曹健林
- 关键词：磁控溅射软X射线多层膜
- 软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算被引量：15
- 1995年
- 介绍在研制软Ｘ光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分Ｘ光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能，并讨论了膜厚控制误差、表（界）面粗糙度等对性能的影响。
- 张俊平曹健林马月英高宏刚陈斌吕俊霞裴舒陈星旦
- 关键词：软X射线多层膜激光反射镜膜系设计
- X光多层膜反射镜的损伤与破坏实验研究被引量：2
- 1999年
- 产生 Ｘ 光激光的等离子体环境对 Ｘ 光多层膜反射镜造成损伤与破坏。通过模拟实验，给出国产 Ｍｏ／ Ｓｉ多层膜反射镜的破坏阈值大约是 ０１０ Ｊ／ｃｍ ２，在这个辐照剂量下，多层膜表面均方粗糙度明显增加，反射率几乎降至为零。提出了防止多层膜反射镜破坏的一些想法。
- 淳于书泰谷渝秋尤永禄黄文忠何颖玲马月英裴舒曹建林
