2025年1月22日
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岳衢
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中国科学院光电技术研究所
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合作作者
邱传凯
中国科学院光电技术研究所
周崇喜
中国科学院光电技术研究所
李国俊
中国科学院光电技术研究所
潘丽
中国科学院光电技术研究所
李飞
中国科学院光电技术研究所
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邱传凯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:变形镜 微透镜列阵 掩模 微透镜阵列 光学系统
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周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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李国俊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:微透镜阵列 衍射 干法刻蚀 绝缘硅 填充因子
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潘丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 湿法腐蚀 微透镜列阵 微透镜阵列 干法刻蚀
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李飞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:金属纳米 湿法腐蚀 绝缘硅 阵列结构 干法刻蚀
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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张铁军
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:绝缘硅 湿法腐蚀 透射特性 变形镜 大行程
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胡承刚
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方亮
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:视场 掩模 棱镜 微开关 光程差
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石振东
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:滤波器 半导体激光器 半导体激光 微透镜阵列 长腔
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