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26 条 记 录,以下是 1-10
杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
豆传国
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:应力传感器 硅 多晶硅 互连 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成海涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:纳米 MOS电容 空间电荷区 电极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:空间电荷区 电极 纳米 衬底 场效应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐高卫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装结构 子层 湿法腐蚀 电镀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴紫阳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光刻胶 悬架 光刻 胶膜 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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