2024年8月22日
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张会珍
作品数:
14
被引量:9
H指数:2
供职机构:
东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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发文基金:
江苏省自然科学基金
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
黄庆安
东南大学电子科学与工程学院微电...
童勤义
东南大学
秦明
东南大学电子科学与工程学院微电...
陈军宁
东南大学
祁雪
东南大学电子科学与工程学院微电...
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 微电子机械系统 无源无线 微机电系统
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秦明
供职机构:东南大学电子科学与工程学院
研究主题:风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
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童勤义
供职机构:东南大学微电子中心
研究主题:传感器 高温 键合 硅 硅片
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陈军宁
供职机构:贵州大学
研究主题:键合 SDB 硅 硅直接键合 减薄
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樊路加
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:阳极键合 硅膜 光纤信号 光纤开关 微机械
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茅盘松
供职机构:东南大学
研究主题:硅 振动陀螺 微硅 加速度计 扭摆式
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谢世健
供职机构:东南大学
研究主题:CMOS 栅控 打字机 打印机 步进电机
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陈大金
供职机构:东南大学
研究主题:高温炉 硅片直接键合 硅片 键合 混合液
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祁雪
供职机构:东南大学
研究主题:阳极键合 传感器电路 CMOS电路 CMOS带隙 集成电路
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詹娟
供职机构:东南大学电子科学与工程学院
研究主题:硅 直接键合 硅片键合 硅直接键合 半导体放电管
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