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陈亚英
作品数:
9
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H指数:2
供职机构:
清华大学
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国家重点基础研究发展计划
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合作作者
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学
张鸣
清华大学
汪劲松
清华大学
段广洪
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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供职机构
所获资助
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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