2024年12月27日
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汪劲松
作品数:
539
被引量:2,801
H指数:31
供职机构:
清华大学
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国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
金属学及工艺
机械工程
文化科学
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合作作者
段广洪
清华大学深圳研究生院
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
刘辛军
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学
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王立平
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31篇
2004
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带有平衡块消振装置的超精密硅片定位系统
带有平衡块消振装置的超精密硅片定位系统,该系统运用动量守恒原理,将硅片承载装置及其驱动导向装置放置在一个由气浮轴承支撑的、具有X、Y两自由度的平衡块上,当硅片承载装置沿一个方向运动时,平衡块反方向运动,消除由于运动反力引...
汪劲松
朱煜
张鸣
尹文生
段广洪
杨学智
徐登峰
杨开明
朱立伟
王建发
于晖
文献传递
一种呈阵列布置的多掩模光刻机硅片台系统
一种呈阵列布置的多掩模光刻机硅片台系统,该系统含有基台,至少一个硅片台,一组光学透镜和掩模台系统,所述的掩模台系统包括掩模台基座、掩模运动台和掩模承载台,所述的掩模台基座的长边为Y方向,短边为X方向,掩模运动台在掩模台基...
朱煜
张鸣
汪劲松
田丽
徐登峰
尹文生
段广洪
胡金春
许岩
透平气动马达
一种透平气动马达,包括马达壳体和输出轴,马达壳体内设置反击式微型透平机,该反击式微型透平机包括排气口、透平定子、透平转子、透平轴及进气口,其透平轴通过行星齿轮减速机构与输出轴内端连接;靠近透平转子的第一轴承与透平转子以及...
夏必忠
汪劲松
王立平
张辉
郁鼎文
周连杰
程信华
段广洪
文献传递
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统,主要用于光刻机系统中。该硅片台双台交换系统包括基台、两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置。所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成,平面电机采用永磁...
朱煜
张鸣
汪劲松
闵伟
尹文生
胡金春
徐登峰
杨开明
段广洪
田丽
许岩
文献传递
一种基于磁钢阵列的运动平台二维定位方法
一种基于磁钢阵列的运动平台二维定位方法,该方法包括以下步骤:在运动系统中运动平台表面的磁钢阵列一个或一个以上极距内任意不同位置放置4个以上线性霍尔传感器,根据磁钢阵列确定磁通密度分布模型,确定上述线性霍尔传感器的安装位置...
胡金春
朱煜
汪劲松
张鸣
廖凯
杨开明
徐登峰
尹文生
段广洪
文献传递
一种四自由度并联机器人机构
本发明属于工业机器人领域,包括机架、运动台、连接运动台与机架的分支;运动台通过四个分支与机架连接,形成并联闭环结构;其中,两个分支各含有两个单自由度运动副,一个球铰链,另外两个分支各含有一个单自由度运动副,两个球铰链或一...
刘辛军
汪劲松
段广洪
文献传递
一种低频三自由度隔振器
一种低频三自由度隔振器,涉及一种用于精密领域、IC(集成电路)制造领域或光学领域上的一种隔振设备。该隔振器由空气弹簧和一对空心筒状永磁体构成,外空心筒状永磁体固定在空气弹簧主体的顶部,内空心筒状永磁体固定在空气弹簧的橡胶...
朱煜
徐登峰
汪劲松
李强
张鸣
尹文生
杨开明
纪春华
许岩
田丽
文献传递
双活塞液压自由活塞发动机原理样机的研制及其压缩比
被引量:7
2006年
液压自由活塞发动机是将内燃机和液压泵集成为一体,以液体为工作介质,利用油液的压力能实现动力非刚性传输的一种特种发动机。提出一种特殊结构的液压自由活塞发动机设计方案,并据此研制了双活塞液压自由活塞发动机原理样机。由于压缩比对自由活塞发动机的性能具有重要影响,所以从结构设计、安装方式与行程控制等不同层面,对双活塞液压自由活塞发动机原理样机压缩比进行了详细而系统的研究。研究结果为液压自由活塞发动机的结构设计、控制及安装方式的选择皆有指导意义。
夏必忠
汪劲松
傅新
杨华勇
关键词:
样机研制
压缩比
一种驱动冗余三自由度并联机构
本发明涉及一种驱动冗余三自由度并联机构,属于数控装置制造技术领域。包括一个安装执行器的动平台和定平台,以及连接所述动平台和定平台之间的具有相同结构的第一、第二支链;该第一、第二支链均含有一个主动驱动的运动副;该装置还包含...
刘辛军
汪劲松
谢福贵
文献传递
一种空间3自由度并联机器人的工作空间和转动能力分析
被引量:27
2005年
研究一种空间3自由度并联机器人(HANA)的工作空间和转动能力.该机器人由定平台、动平台和三个连接支链组成,其动平台相对于定平台具有2个移动和1个转动自由度。该机器人具有以下特性:工作空间内无奇异;单自由度铰链结构和高转动能力。其具有显式封闭解的运动学反解有利于用几何方法表达其工作空间.文中首先分析其定姿态和可达工作空间;然后定义了一种评价转动能力的性能指标,并用该指标详细考查了该并联机器人的转动能力特性;最后得出了转动能力性能指标在其工作空间内的分别,这有助于进一步了解该机器人在工作空间内每一点的转动能力。该并联机器人可以广泛地应用在工业机器人、飞行模拟器、微型机器人和并联机床等行业。
刘辛军
汪劲松
王启明
李铁民
关键词:
并联机器人
运动学反解
工业机器人
微型机器人
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