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徐登峰

作品数：206 被引量：54H指数：5
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 188篇专利
  • 15篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 16篇电子电信
  • 16篇自动化与计算...
  • 16篇文化科学
  • 9篇一般工业技术
  • 8篇理学
  • 6篇机械工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇农业科学

主题

  • 73篇光刻
  • 64篇光刻机
  • 59篇电机
  • 30篇轴承
  • 30篇工位
  • 27篇平面电机
  • 26篇六自由度
  • 25篇直线电机
  • 24篇感器
  • 24篇传感
  • 24篇传感器
  • 23篇激光
  • 22篇永磁
  • 22篇基台
  • 21篇气浮轴承
  • 20篇干涉仪
  • 19篇掩模
  • 18篇激光干涉
  • 15篇微动
  • 12篇阵列

机构

  • 206篇清华大学
  • 4篇电子科技大学
  • 4篇武昌理工学院
  • 1篇北京华卓精科...
  • 1篇中央储备粮镇...

作者

  • 206篇徐登峰
  • 198篇朱煜
  • 181篇张鸣
  • 163篇尹文生
  • 152篇胡金春
  • 137篇杨开明
  • 95篇汪劲松
  • 88篇穆海华
  • 62篇段广洪
  • 53篇田丽
  • 50篇刘召
  • 44篇成荣
  • 30篇胡楚雄
  • 30篇张利
  • 29篇李鑫
  • 26篇许岩
  • 24篇王磊杰
  • 23篇刘昊
  • 22篇闵伟
  • 18篇李广

传媒

  • 6篇振动与冲击
  • 3篇制造技术与机...
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇江苏农业科学
  • 1篇润滑与密封
  • 1篇机械科学与技...
  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 4篇2023
  • 2篇2022
  • 3篇2020
  • 6篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 17篇2015
  • 20篇2014
  • 29篇2013
  • 32篇2012
  • 21篇2011
  • 21篇2010
  • 21篇2009
  • 5篇2008
  • 9篇2007
  • 1篇2006
  • 4篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇1999
共 206 条 记 录，以下是 1-10
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一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置
一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆...
杨开明朱煜李鑫汪劲松尹文生胡金春张鸣徐登峰穆海华崔乐卿余东东
可调节刚度和阻尼的空气弹簧隔振器
可调节刚度和阻尼的空气弹簧隔振器，属于超精密加工及测量领域。为了满足适应不同负载和不同环境下隔振的需要，本发明公开了一种可调节刚度和阻尼的空气弹簧隔振器，所述隔振器具有中空的外壳，内部为圆柱形，所述外壳内固定有隔板，将外...
汪劲松朱煜徐登峰杨学智
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一种光刻机硅片台双台交换系统
一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在同一基台上，通过气浮轴承悬浮在基台上表面；每个硅片台分别由一条沿Y方向的导轨穿过，导轨的一端与一个主驱动单元连接，...
朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春
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一种光刻机硅片台双台交换系统
一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在同一基台上，通过气浮轴承悬浮在基台上表面；每个硅片台分别由一条沿Y方向的导轨穿过，导轨的一端与一个主驱动单元连接，...
朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春
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线性防偏摆双腔室空气弹簧
线性防偏摆双腔室空气弹簧，主要用于超精密试验台、超精密机床和光学平台等设备的隔振。本发明的主要技术特征是活塞的下部通过迷宫式密封与压圈密封配合；活塞的中部与压圈构成空气轴承，从而达到了抛弃传统橡胶密封方式的目的。该线性防...
朱煜汪劲松徐登峰
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一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法
本发明公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法。本发明提供了一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力、晶圆脱附时间和晶圆表面温度等技术指标的装置和方法；其中，装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测...
季林红王珂晟程嘉王兴阔徐登峰许岩张旭光杨义勇
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一种非接触式永磁支承结构
一种非接触式永磁支承结构，包括定子和动子，定子包括内支承部分和外支承部分，动子包括内环永磁体和外环永磁体，动子嵌套在定子内支承部分与定子外支承部分之间，所述内环永磁体与外环永磁体同轴放置，且均沿半径背向圆心方向充磁，所述...
朱煜张鸣刘羽汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明穆海华成荣
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一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置
一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置，该测量装置包括：激光器、平面镜干涉仪、接收器、读数单元、偏振装置、平面反射镜以及安装于硅片台上的反射透射棱镜，反射透射棱镜具有偏振镜面和反射镜面。平面镜干涉仪沿水平方向至少...
张鸣朱煜王磊杰刘昊刘召杨开明徐登峰胡金春尹文生
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一种利用线绳弹簧拉伸的晶圆夹持装置
一种利用线绳弹簧拉伸的晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸缩夹持组件。线绳伸缩夹持组件包括电机、线绳、两个移动夹子、两个挡板装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作用下，线绳和弹簧...
朱煜杨开明李鑫汪劲松胡金春张鸣徐登峰穆海华尹文生余东东崔乐卿
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一种六自由度磁悬浮工件台
一种六自由度磁悬浮工件台，该装置包括底座、一个旋转驱动装置、一个平面运动装置、角度测量装置和位移测量装置。其中位移测量装置包括四个直线电机、四个PSD组件。在旋转驱动装置作用下，和旋转驱动装置环形永磁阵列动子由轴连接的平...
朱煜张鸣宋玉晶成荣刘昊刘召杨开明胡金春徐登峰尹文生穆海华
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