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丁子君
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供职机构:
复旦大学
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
张卫
复旦大学
丁士进
复旦大学
蒋涛
复旦大学
刘文军
复旦大学
朱宝
复旦大学
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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蒋涛
供职机构:复旦大学
研究主题:超低介电常数 超大规模集成电路 乙酰丙酮 BTEM 保形
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朱宝
供职机构:复旦大学
研究主题:浮栅 电容 硅 金属 TSV
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刘文军
供职机构:复旦大学
研究主题:薄膜晶体管 选通 横线 掉电 电阻率
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