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蒋涛

作品数：12 被引量：1H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 1篇电气工程

主题

  • 7篇低介电常数
  • 7篇介电常数
  • 5篇超低介电常数
  • 3篇电路
  • 3篇金属
  • 3篇集成电路
  • 3篇超大规模集成
  • 3篇超大规模集成...
  • 3篇大规模集成电...
  • 2篇低介电常数材...
  • 2篇电场
  • 2篇电场强度
  • 2篇电极
  • 2篇电极片
  • 2篇电解
  • 2篇电解水
  • 2篇多孔
  • 2篇乙烷
  • 2篇乙酰
  • 2篇乙酰丙酮

机构

  • 12篇复旦大学

作者

  • 12篇蒋涛
  • 6篇丁士进
  • 6篇张卫
  • 2篇丁子君
  • 2篇林阳辉
  • 2篇王鹏飞
  • 1篇孟庆伟

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2005
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域,具体为一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法。本发明以CF<Sub>3</Sub>I和C<Sub>4</Sub>F<Sub>8</Sub>作为多孔SiCOH薄膜的主要刻蚀气...
丁士进蒋涛王鹏飞张卫
文献传递
一种改善超低介电常数多孔SiCOH薄膜抗吸湿性能的方法
本发明公开了一种改善超低介电常数多孔SiCOH薄膜抗吸湿性能的方法，该方法是将k值为1.6-2.0的超低介电常数多孔SiCOH薄膜，在环境温度下，置于紫外光下进行照射，以提高薄膜的抗吸湿性能，其中，紫外光波长范围为200...
丁士进蒋涛张卫
文献传递
一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域，具体为一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法。本发明以1，2-二（三乙氧基硅基）甲烷为前驱体，通过添加表面活性剂聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷三嵌段共聚物、盐酸、...
丁士进丁子君蒋涛张卫
双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法
本发明属于无机有机杂化材料技术领域，具体为一种双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法。本发明利用乙酰丙酮镍、乙酰丙酮铂和乙酰丙酮钯在不同有机溶剂中的不同溶解度，在混合溶剂中制备出催化剂前驱体，或者利用铂、钯金属纳米颗粒生长中的...
林阳辉蒋涛
电解水催化剂的制备方法
本公开实施例提供电解水催化剂的制备方法，通过将镍盐溶液、铬盐溶液及第三元素的盐溶液进行混合，得到前驱体溶液，第三元素为非贵金属，将前驱体溶液涂覆在电极片上，并进行干燥和煅烧。本公开实施例提出一种包含非贵金属的催化剂的新的...
陆文雅蒋涛李丹龚鸣吴建翔卞铁铮贾飞
双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法
本发明属于无机有机杂化材料技术领域，具体为一种双金属纳米颗粒催化剂及其制备方法。本发明利用乙酰丙酮镍、乙酰丙酮铂和乙酰丙酮钯在不同有机溶剂中的不同溶解度，在混合溶剂中制备出催化剂前驱体，或者利用铂、钯金属纳米颗粒生长中的...
林阳辉蒋涛
文献传递
一种可用于电解水制氢的电极片及其制备方法和用途
本发明提供了一种可用于电解水制氢的电极片及其制备方法和用途。本发明的方法包括以下步骤：(1)制备电镀液：将镍盐、Ln盐和可选的添加剂溶解在水中，制得电镀液；(2)电镀：将催化剂载体和惰性阳极置入电镀液中，将惰性阳极连接正...
陆文雅蒋涛李丹龚鸣卞铁铮贾飞
一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域，具体为一种多孔低介电常数材料SiCOH薄膜的刻蚀方法。本发明以CF<Sub>3</Sub>I和C<Sub>4</Sub>F<Sub>8</Sub>作为多孔SiCOH薄膜的主要刻蚀气...
丁士进蒋涛王鹏飞张卫
文献传递
一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法
本发明属于超大规模集成电路制造技术领域，具体为一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法。本发明以1，2‑二（三乙氧基硅基）甲烷为前驱体，通过添加表面活性剂聚环氧乙烷‑聚环氧丙烷‑聚环氧乙烷三嵌段共聚物、盐酸、...
丁士进丁子君蒋涛张卫
文献传递
超低介电常数多孔SiCOH薄膜的制备与研究
高性能、高集成度、低功耗和高可靠性一直以来是集成电路发展的主要技术指标和方向。随着器件的特征尺寸不断缩小，其功耗不断降低，集成度不断增大，而互连导线-介质之间的电阻-电容(RC)延迟却快速增加，已经成为制约集成电路性能进...
蒋涛
关键词：硅氧烷超低介电常数
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