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刘涛

作品数：51 被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
北京智朗芯光科技有限公司
研究主题：晶片 垂直入射 光谱仪 基底 半导体材料
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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