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赵丽莉

作品数：77 被引量：16H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 71篇专利
  • 6篇期刊文章

领域

  • 11篇电子电信
  • 10篇理学
  • 7篇机械工程
  • 4篇一般工业技术
  • 4篇文化科学
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 13篇原子层沉积
  • 9篇等离子体
  • 9篇半导体
  • 8篇阵列
  • 8篇离子注入
  • 7篇波带片
  • 6篇有机半导体
  • 6篇腔体
  • 6篇激光
  • 5篇衍射
  • 5篇衍射效率
  • 5篇特性参数
  • 5篇注入机
  • 5篇功率
  • 5篇光学
  • 5篇菲涅耳
  • 4篇碘化
  • 4篇碘化亚铜
  • 4篇动镜
  • 4篇真空干燥箱

机构

  • 77篇中国科学院微...
  • 3篇北京泰龙电子...
  • 2篇北京交通大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 77篇赵丽莉
  • 68篇夏洋
  • 46篇李楠
  • 39篇卢维尔
  • 27篇冷兴龙
  • 26篇屈芙蓉
  • 22篇刘涛
  • 19篇李超波
  • 13篇汪明刚
  • 13篇陈瑶
  • 13篇刘杰
  • 10篇李勇滔
  • 8篇刘键
  • 7篇景玉鹏
  • 4篇王欣
  • 3篇解婧
  • 3篇孙小孟
  • 3篇陈波
  • 2篇窦伟
  • 2篇邹志超

传媒

  • 3篇电子工业专用...
  • 1篇光学学报
  • 1篇材料导报
  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 6篇2025
  • 5篇2024
  • 9篇2023
  • 5篇2022
  • 19篇2021
  • 4篇2020
  • 9篇2019
  • 4篇2018
  • 1篇2016
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
共 77 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种有机半导体材料的阵列制备方法
本发明公开了一种有机半导体材料的阵列制备方法，根据预设阵列形式，制备获得包括硅柱阵列的硅片；对所述硅柱的表面进行化学修饰，使所述硅柱的表面达到超疏水状态；在真空条件下对有机半导体材料进行热蒸发，使所述有机半导体材料的有机...
吴朋桦屈芙蓉孙冰朔夏洋李楠赵丽莉冷兴龙李磊
一种处理Ag<Sub>2</Sub>S薄膜的方法
本发明公开了一种处理Ag<Sub>2</Sub>S薄膜的方法，通过将硅衬底放置于原子层沉积的反应腔室中，将所述反应腔室抽真空；将三甲基膦六氟乙酰丙酮银装入原子层沉积设备的固态源加热源瓶内，加热所述固态源加热源瓶至第一温度...
卢维尔明帅强夏洋李楠赵丽莉
文献传递
一种等离子体浸没离子注入系统
本发明公开了一种等离子体浸没离子注入系统，包括：离子注入腔室、进气口、出气口、基片台、射频电源、脉冲电源；其中，所述等离子体浸没离子注入系统还包括：注入源，所述注入源与所述进气口连接，用于给所述离子注入腔室注入金属气体源...
赵丽莉邹志超窦伟李超波
文献传递
一种基于湿法清洗机的加热控制系统
本发明涉及一种基于湿法清洗机的加热控制系统。所述加热控制系统包括：加热器、液位传感器、液位断路器、第一数字温控器、第二数字温控器、功率控制器和一体机；所述第一数字温控器与所述加热器底部的加热丝相连，所述第二数字温控器与所...
赵丽莉李培源李楠陈波
文献传递
一种高阶模态的石英晶体谐振器加工方法及装置
本发明公开了一种高阶模态的石英晶体谐振器加工方法及装置，涉及石英晶体谐振器加工领域。所述方法包括：在石英晶片上下表面沉积第一预设厚度范围的第一金属、第二预设厚度范围的第二金属；获得下层电极；去除下层电极表面的光刻胶，在上...
许帆何萌刘涛冷兴龙李磊谭博仁张凌云夏洋李楠赵丽莉
一种石英晶体谐振器的加工方法及装置
本公开提供了一种石英晶体谐振器的加工方法，包括：S1，在石英晶片的第一表面和第二表面依次沉积多层金属并在最外侧表面涂覆光刻胶，其中，第一表面和第二表面为石英晶片上相对的两表面；S2，对步骤S1得到的第一表面和第二表面进行...
李磊刘涛 张明烨 王玥冷兴龙 张凌云李楠赵丽莉 何萌夏洋
文献传递
一种碘化亚铜薄膜的制备方法
本申请公开了一种碘化亚铜薄膜的制备方法，涉及半导体器件技术领域，所述方法包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石...
明帅强李楠赵丽莉何萌卢维尔夏洋文庆涛高雅增冷兴龙李培源屈芙蓉刘涛
文献传递
反射式近场光学偏振光谱仪
一种反射式近场光学偏振光谱仪，包括：入射光发生模块、探针扫描显微模块和出射光检测模块，其中，探测光在入射光发生模块中经过整形和调制，发出不同偏振状态的探测光，入射光束聚焦至探针扫描显微模块的探针针尖上，探测光与探针针尖和...
刘涛张凌云王玥陈楠李磊王博雨冷兴龙李楠赵丽莉景玉鹏刘键何萌夏洋
基于严格耦合波理论的硬X射线菲涅耳波带片设计被引量：9
2021年
菲涅耳波带片(FZP)能实现光源聚焦,是硬X射线显微成像最重要的组成元件之一。分辨率与衍射效率是FZP最重要的两个参数,但在实际设计与制备中,两者往往难以同时兼顾。因此,提出了一种基于严格耦合波理论的硬X射线FZP设计方法。该方法在指定分辨率的基础上优化衍射效率,给出了硬X射线FZP组成材料、环带宽度、外径、厚度以及厚度控制精度等参数的优化值。同时考虑到材料色散的影响,给出了最优衍射效率随光源能量变化的分布情况,为显微成像中的光源选择提供了参考。
高雅增吴鹿杰卢维尔刘虹遥刘虹遥赵丽莉夏洋孔祥东赵丽莉
关键词：成像系统菲涅耳波带片分辨率衍射效率硬X射线
一种离子注入剂量检测控制方法
本发明公开了一种等离子体浸没注入离子剂量检测控制方法，属于等等离子体浸没注入剂量检测技术领域。其方法首先测量等离子体特性参数以及等离子体中的粒子组分和各组分的粒子含量；将等离子体中的所有离子和基团的质量等效为同一质量；将...
汪明刚刘杰夏洋李超波陈瑶赵丽莉李勇滔
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