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宋涛

作品数：66 被引量：106H指数：6
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：河北省科技支撑计划项目石家庄市科技局“科技支撑计划项目”国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信农业科学天文地球更多>>

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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学电子信息工程学院
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