2024年8月21日
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苏永波
作品数:
57
被引量:24
H指数:3
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
中国科学院“百人计划”
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
金智
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
丁芃
中国科学院微电子研究所
王显泰
中国科学院微电子研究所
程伟
中国科学院微电子研究所
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供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品
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