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邝贤军
作品数:
1
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供职机构:
工业和信息化部电子第五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘丽媛
工业和信息化部电子第五研究所
林晓玲
工业和信息化部电子第五研究所
邝贤军
中国赛宝实验室
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2023
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基于电路和版图辅助的集成电路失效定位研究
2023年
EMMI和OBIRCH是通用的集成电路失效定位方法,二者属于器件级定位,能够将失效缩小至局部,但可能无法精确定位失效结构。在EMMI或者OBIRCH技术基础上,提出一种基于电路原理/仿真、版图、微探针测试等来辅助电路分析的定位方法。首先通过有效电激励进行EMMI和OBIRCH分析,确认标记点是否属于失效的功能电路;再通过电路原理分析或版图确定可能的漏电位置和结构,最后经电路仿真或微探针测试等方法确定精确失效点。案例研究结果显示,基于电路和版图辅助法,可快速定位氧化层击穿形成的漏电、金属划伤引起的CMOS反相器负载低阻和金属刻蚀缺陷导致的功能失效,提高了失效分析的成功率。
陈选龙
邝贤军
邝贤军
林晓玲
林晓玲
关键词:
电路分析
集成电路
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