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吴熙
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西安交通大学电子与信息工程学院电子陶瓷与器件教育部重点实验室
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
徐卓
西安交通大学电子与信息工程学院...
李振荣
西安交通大学电子与信息工程学院...
李静思
西安交通大学电子与信息工程学院...
周明斌
西安交通大学电子与信息工程学院...
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Na基助熔剂法生长GaN体单晶的研究
带GaN半导体器件以其优异的电学和光学特性,已成为目前半导体领域中的研究热点.以GaN单晶基片作为衬底进行GaN的同质外延生长,是实现高压,高频,高温GaN半导体器件优异性能的关键.制备基片的高质量大尺寸GaN体单晶生长...
李振荣
吴熙
郝航飞
徐卓
范世骥
关键词:
氮化镓
单晶生长
形貌特征
生长速率
Na助熔剂法生长氮化镓晶体的研究进展
被引量:1
2013年
以高质量GaN单晶基片作为衬底实现GaN的同质外延生长,是获得GaN半导体器件优异性能的基础。高质量GaN单晶基片的缺乏已成为国际范围制约GaN器件发展的瓶颈。在GaN体单晶的几种生长方法中,由于Na助熔剂法的生长条件相对温和且成本相对较低,近年来发展较快。本文从Na助熔剂法的原理、生长工艺、助熔剂种类以及得到晶体尺寸和质量等几方面进行了综述,分析了目前Na助熔剂法生长GaN单晶中的技术问题并提出了进一步研究的一些建议。
周明斌
李振荣
李静思
吴熙
范世马■
徐卓
关键词:
氮化镓
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