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文献类型

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领域

  • 2篇理学

主题

  • 3篇助熔剂
  • 3篇坩埚下降法
  • 3篇下降法
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  • 2篇温度梯度
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  • 1篇氮化镓
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  • 1篇炉口
  • 1篇静压
  • 1篇开炉
  • 1篇含氮

机构

  • 6篇西安交通大学

作者

  • 6篇周明斌
  • 6篇李振荣
  • 6篇徐卓
  • 2篇范世马岂
  • 1篇范世骥
  • 1篇李静思
  • 1篇吴熙

传媒

  • 2篇人工晶体学报
  • 1篇第十六届全国...

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2013
  • 2篇2012
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
一种高氮压助熔剂-坩埚下降法制备GaN晶体的方法
本发明公开了一种高氮压助熔剂-坩埚下降法制备GaN晶体的方法,包括:1)在充有保护气体的手套箱中将GaN籽晶或助熔剂和金属镓按照摩尔比1:9~9:1放入坩埚中;2)并将其放入高温高压晶体生长设备中,密封抽真空后充入含氮气...
李振荣周明斌范世*徐卓
文献传递
Na助熔剂法生长氮化镓晶体的研究进展被引量:1
2013年
以高质量GaN单晶基片作为衬底实现GaN的同质外延生长,是获得GaN半导体器件优异性能的基础。高质量GaN单晶基片的缺乏已成为国际范围制约GaN器件发展的瓶颈。在GaN体单晶的几种生长方法中,由于Na助熔剂法的生长条件相对温和且成本相对较低,近年来发展较快。本文从Na助熔剂法的原理、生长工艺、助熔剂种类以及得到晶体尺寸和质量等几方面进行了综述,分析了目前Na助熔剂法生长GaN单晶中的技术问题并提出了进一步研究的一些建议。
周明斌李振荣李静思吴熙范世马■徐卓
关键词:氮化镓
7MPa氮压下Na助熔剂法生长GaN晶体的研究被引量:4
2013年
采用Na助熔剂法在7 MPa氮压下并引入较大温度梯度(20~70℃/cm),获得了大量毫米级的GaN晶体,GaN晶体产率高达70%以上。光学及SEM照片显示其晶形大部分为六方锥体。晶体粉末衍射分析表明,生成的GaN单晶具有六方纤锌矿结构,与标准卡片符合得很好,而单晶衍射图谱中出现(101-1)的衍射峰,说明GaN单晶锥面为{101-1},其(101-1)面的摇摆曲线的半高宽仅为4.4 arcsec,室温下采用He-Cd 325 nm激光器激发的GaN单晶的PL谱,最高峰位于标准GaN材料的365 nm处,峰的半高宽为13.5 nm,生长的GaN单晶完整性较高。
周明斌李振荣范世马岂徐卓
关键词:温度梯度
引入温度梯度的高压Na助熔剂法生长GaN晶体的研究
高压Na助熔剂法通过引入较大温度梯度(40~70℃/cm),获得了大量的尺寸为1-3mm的GaN晶体.研究的不同的高氮压对GaN晶体产率的影响.在氮压为7MPa条件下,GaN晶体的产率达到80%以上.
周明斌李振荣范世马岂徐卓
一种高温高压晶体生长设备
本发明所提供一种高温高压晶体生长设备,尤其是一种能生长大尺寸GaN体单晶的高温高压熔剂-坩埚下降法生长设备。包括吊装装置、底座(6)、压力罐(1)、加热炉(18)、下降装置(5);吊装装置安装在压力罐(1)外壳的顶部;底...
李振荣周明斌范世骥徐卓
文献传递
一种高氮压助熔剂-坩埚下降法制备GaN晶体的方法
本发明公开了一种高氮压助熔剂-坩埚下降法制备GaN晶体的方法,包括:1)在充有保护气体的手套箱中将GaN籽晶或助熔剂和金属镓按照摩尔比1:9~9:1放入坩埚中;2)并将其放入高温高压晶体生长设备中,密封抽真空后充入含氮气...
李振荣周明斌范世*徐卓
文献传递
共1页<1>
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