郝晓亮
- 作品数：25 被引量：42H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术化学工程文化科学更多>>
- 去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法
- 本发明提供了一种去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法，属于晶圆制造技术领域，去除晶圆表面蓝膜的辅助设备包括真空发生器、承片台、紫外灯、控制器和压力传感器，承片台通过第一气体管道与真空发生器连接，用于吸附固定晶圆；紫外灯与承片...
- 郝晓亮曹健王秀海马培圣
- 文献传递
- 直线超声马达运动系统的基本原理及故障分析
- 2021年
- 介绍了一种直线超声马达的特点及原理,在分析其控制系统的基础上,概述了超声马达在设备中的接线结构及控制理论,总结了直线超声马达系统的常见故障,并提出了各种故障的处理措施。
- 任泽生郝晓亮吴海翟玉卫
- 关键词：超声马达
- 一种电子束光阑和束闸一体化装置和电子光学系统
- 本申请提供了一种电子束光阑和束闸一体化装置和电子光学系统，该装置包括：基座、正极、第一光阑片和第二光阑片；基座的内部设置有第一负极板和第二负极板，顶部设置有第一光阑片安装孔和第二光阑片安装孔；正极呈长条状，正极的上部与基...
- 赵英伟郝晓亮马培圣程壹涛文黎波刘炳义吴爱华刘岩
- 射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术被引量：5
- 2020年
- 介绍了射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型,以串并联电容组成的Г型匹配网络为例,利用史密斯圆图,阐述了阻抗匹配的工作原理。介绍射频等离子技术在微电子工艺设备中的应用。给出了自动匹配网络的检测电路、电机驱动电路和控制电路,提出了优化自动阻抗匹配能力的方法。
- 赵英伟张文雅郝晓亮
- 关键词：等离子射频相位
- 扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法
- 本发明提供了一种扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法，属于机械制造技术领域，包括：底座、隔离条、磁开关以及盖板，隔离条嵌设于底座上；磁开关设置于底座的腔体内，隔离条位于腔体内；磁开关包括旋转板和两块磁铁，旋转板上设有两个用于放...
- 马培圣王秀海赵英伟吴爱华栾鹏郝晓亮曹健文黎波贾宜萱
- 基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究
- 2021年
- 介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征,自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节,提高测量的适应性和测量效率。
- 赵英伟郝晓亮张文雅马培圣文黎波
- 关键词：激光三角法线阵CCD数字信号处理器光刻机
- 焊接波纹管漏点检测装置
- 本发明提供了一种焊接波纹管漏点检测装置，包括上固定板、下固定板、连杆机构、压紧机构及抽放气管路；上固定板底面上可拆卸连接有多条间隔设置的上环形密封圈；下固定板顶面上可拆卸连接有多条间隔设置的下环形密封圈；连杆机构包括连接...
- 王秀海马培圣郝晓亮曹健
- 文献传递
- 非接触式晶圆翻转装置及翻转方法
- 本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于...
- 文黎波王秀海刘柄义赵英伟吴爱华秦天郝晓亮马培圣曹健张文雅
- 基于PLC的声扫显微镜自动上下片系统设计
- 2021年
- 介绍了一种用于超声波扫描显微镜的自动上下片系统设计,对其真空气路、循环水路和S型导轨的机械结构设计进行了详细介绍。基于贝加莱PLC的输入/输出信号控制系统、X2X Link通讯方式下运动控制系统硬件,在贝加莱Automation Studio开发环境下进行的仿真测试,给出了三环整定参数优化和人机界面的设计方法。
- 赵英伟郝晓亮张文朋
- 关键词：步进电机
- 一种基于电信号叠加的物料定位检测装置及方法
- 一种基于电信号叠加的物料定位检测装置及方法，属于半导体制造设备领域，所述装置包括直流电压源、信号线、电信号检测单元、开关、电阻及解码器，每个开关配套一个电阻，组成编码单元，信号线连接编码单元；所述方法为获取信号线的输出电...
- 赵英伟郝晓亮张文朋程壹涛文黎波吴爱华吴海
