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曹健

作品数：38 被引量：17H指数：3
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇专利
  • 6篇期刊文章

领域

  • 8篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 8篇校准
  • 6篇测试夹具
  • 5篇散射参数
  • 5篇共面
  • 5篇波导
  • 4篇电路
  • 4篇探针
  • 4篇微波
  • 4篇微波功率器件
  • 4篇功率器件
  • 4篇S参数
  • 4篇串扰
  • 3篇太赫兹
  • 3篇晶圆
  • 3篇共面波导
  • 3篇赫兹
  • 3篇红外
  • 3篇承片台
  • 2篇导体
  • 2篇电路结构

机构

  • 38篇中国电子科技...

作者

  • 38篇曹健
  • 19篇胡志富
  • 19篇刘亚男
  • 17篇冯彬
  • 17篇李静强
  • 17篇何美林
  • 13篇杜光伟
  • 13篇王秀海
  • 13篇郝晓亮
  • 11篇吴爱华
  • 11篇马培圣
  • 9篇赵英伟
  • 6篇王亚冰
  • 5篇张文雅
  • 4篇刘晨
  • 4篇梁法国
  • 4篇王一帮
  • 2篇邹学锋
  • 2篇付兴昌
  • 2篇田秀伟

传媒

  • 4篇电子工业专用...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇电子技术应用

年份

  • 5篇2023
  • 3篇2022
  • 3篇2021
  • 4篇2020
  • 11篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 7篇2015
  • 1篇2007
共 38 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
红外测量技术在MOCVD中的应用被引量：4
2007年
简要说明了红外辐射测量技术的工作原理与理论基础以及红外测量的特点。MOCVD硅片外延生长过程中反射率是实时变化的,但传统红外测量方法无法实现反射率的实时测量,因此造成较大的测量误差,无法准确反应外延片的表面温度,同时无法实现对生长速率的在位测量。德国AIXTRON公司的MOCVD测量系统中加入了由脉冲信号控制的LED红外发光器件,实现了温度与反射率、生长速率与膜厚的在位实时测量,从而达到对温度和膜厚的精确控制,取得良好的实验效果。
路孟喜曹健
关键词：红外辐射温度测量金属有机物化学气相淀积
新型在片S参数误差校准方法和装置
本发明适用于太赫兹在片测量技术领域，提供了一种新型在片S参数误差校准方法和装置。该方法包括：在测试系统未连接探针时，在波导端面进行二端口校准；在测试系统连接所述探针时，在两个探针端面分别进行一端口校准；在被测件的衬底上制...
吴爱华李冲刘晨王一帮付兴昌梁法国田秀伟刘亚男曹健
一种提取GaNHEMT器件电热模型参数的方法及夹具
本发明公开了一种提取GaN HEMT器件电热模型参数的方法，涉及GaN HEMT等效电路大信号建模技术领域；包括：将GaN HEMT器件安装到夹具上，夹具安装在红外热像仪上；对GaN HEMT器件施加偏置电压，使GaN ...
李静强胡志富刘亚男彭志农冯彬杜光伟曹健何美林
吸擦一体式擦头装置
本发明提供了一种吸擦一体式擦头装置，包括吸盘主体和吸盘芯，吸盘主体上表面设有用于容纳研磨液的第一环形凹槽，第一环形凹槽的底部设有第一研磨液排出孔，安装圆台的中心设有第一通气孔；吸盘芯安装在吸盘主体的下表面；吸盘芯具有与第...
刘炳义王秀海文黎波赵英伟吴爱华郝晓亮秦天马培圣张文雅曹健
真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机
本发明提供了一种真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机，属于半导体技术领域，包括：轴套、内套筒、轴承以及分体端盖，轴套具有上连接段和下连接段，上连接段内的上通孔的孔径大于下连接段的下通孔的孔径，上通孔和下通孔的相接处构成...
曹健赵英伟郝晓亮王秀海马培圣张文雅文黎波吴爱华
用于太赫兹有源器件的神经网络建模方法
本发明公开了一种用于太赫兹有源器件的神经网络建模方法，涉及太赫兹器件建模方法技术领域。所述方法在单纯神经网络建模的基础上加上空间映射的方法，将粗模型的输入电压通过神经网络映射到最终的精确模型的输入电压，由太赫兹有源器件的...
杜光伟胡志富刘亚男李静强冯彬彭志农何美林曹健
文献传递
非接触式晶圆翻转装置及翻转方法
本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于...
文黎波王秀海刘柄义赵英伟吴爱华秦天郝晓亮马培圣曹健张文雅
去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法
本发明提供了一种去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法，属于晶圆制造技术领域，去除晶圆表面蓝膜的辅助设备包括真空发生器、承片台、紫外灯、控制器和压力传感器，承片台通过第一气体管道与真空发生器连接，用于吸附固定晶圆；紫外灯与承片...
郝晓亮曹健王秀海马培圣
文献传递
微波电路非线性模型建立方法、测量系统及终端设备
本发明适用于微波电路技术领域，提供了微波电路非线性模型建立方法、测量系统及终端设备。该方法包括：在输出端口的反射系数为第一固定值时，调节输入端口的入射功率波大小，获取输出端口的入射功率波和出射功率波，以及输出端口的入射功...
李静强曹健胡志富刘亚男彭志农冯彬杜光伟何美林王亚冰何锐聪
文献传递
太赫兹在片散射参数测量校准件及其制备方法
本发明公开了一种太赫兹在片散射参数测量校准件及其制备方法，涉及太赫兹器件散射参数测试装置技术领域。所述校准件包括衬底，所述衬底的上表面制作有一个直通标准件、一个反射标准件和至少一个传输线标准件，所述衬底的下表面制作有背面...
刘亚男胡志富杜光伟李静强冯彬彭志农何美林曹健
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