赵英伟
- 作品数：50 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学电气工程更多>>
- 温度测量法在水压层压机维修中的应用被引量：1
- 2020年
- 水压层压机压力系统故障为易发故障,由于系统压力高,压力管道系统多采用硬管连接,发生故障后拆解检查具有一定困难,有时还会造成部分连接件的损坏,为了达到简化操作,无损判断故障点的目的,提出了温度测量法,通过对不同位置管道壁温度的测量来判断水压层压机压力系统故障点,能够在不拆解或少拆解的情况下,对压力系统复杂故障进行快速无损定位。能在半导体设备维修行业中的水压层压机的维修中起到一定的指导作用,提高维修效率,减少误操作和拆解检查对设备造成的损伤,提高维修中维修人员的人身和设备本身的安全系数。
- 张文朋吴海赵英伟金黎雷
- 关键词：设备维修
- 非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备
- 本申请适用于面轮廓度误差评定技术领域，提供了一种非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备。该方法包括：获取待测零件的测量环面与理想环面，测量环面包括待测零件的实测点，理想环面包括理想环面参数；根据坐标变换参数对实测点...
- 王峻澎吴海吴爱华赵英伟张文朋任泽生程壹涛王露寒
- 非接触式晶圆翻转装置及翻转方法
- 本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于...
- 文黎波王秀海刘柄义赵英伟吴爱华秦天郝晓亮马培圣曹健张文雅
- 基于PLC的声扫显微镜自动上下片系统设计
- 2021年
- 介绍了一种用于超声波扫描显微镜的自动上下片系统设计,对其真空气路、循环水路和S型导轨的机械结构设计进行了详细介绍。基于贝加莱PLC的输入/输出信号控制系统、X2X Link通讯方式下运动控制系统硬件,在贝加莱Automation Studio开发环境下进行的仿真测试,给出了三环整定参数优化和人机界面的设计方法。
- 赵英伟郝晓亮张文朋
- 关键词：步进电机
- 半导体工艺设备维修过程中安全风险管理
- 2024年
- 针对半导体工艺设备特点,对设备维修过程中安全风险因素进行辨识、分类、分析,强化维修过程中安全意识,建立一系列安全体系规章制度。根据工艺设备特点有针对的制定维修安全方案,能够保障设备维修人员安全,规范设备维修流程,同时也提升了维修质量,保障半导体工艺设备的正常运行。
- 朱超刘霞美王秀海赵英伟
- 关键词：半导体工艺设备设备维修
- 用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置
- 本发明提供一种用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置。该方法包括：获取照明光强在预设最大离焦范围内单调变化的光热反射显微热成像装置采集的被测件位于待对焦位置时的采集图像，及被测件位于对焦位置时的参考图像；根据采集...
- 刘岩乔玉娥邹学峰丁立强吴爱华赵英伟李锁印
- 晶圆片背氦压力控制装置及控制方法
- 本发明提供了一种晶圆片背氦压力控制装置及控制方法，属于半导体制作技术领域，自上至下依次包括线性执行器、针尾顶板、微针阵列板、针孔定位板、定高环以及微针底板，微针经针孔定位板从微针底板穿出；微针底板与针尾顶板相连，并将微针...
- 王峻澎吴海吴爱华赵英伟张文朋姚刚程壹涛王露寒
- 考夫曼离子源装置及其控制方法
- 本发明提供了一种考夫曼离子源装置及其控制方法，属于离子束刻蚀技术领域，考夫曼离子源装置包括：放电室；电源连接组件，包括设于放电室外的灯丝电源，以及与灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个电源触点结构分别设于放电室相对的两侧...
- 程壹涛吴海赵英伟吴爱华王露寒任泽生刘成群王利芹张文朋
- 非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备
- 本申请适用于面轮廓度误差评定技术领域，提供了一种非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备。该方法包括：获取待测零件的测量环面与理想环面，测量环面包括待测零件的实测点，理想环面包括理想环面参数；根据坐标变换参数对实测点...
- 王峻澎吴海吴爱华赵英伟张文朋任泽生程壹涛王露寒
- 基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究
- 2021年
- 介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征,自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节,提高测量的适应性和测量效率。
- 赵英伟郝晓亮张文雅马培圣文黎波
- 关键词：激光三角法线阵CCD数字信号处理器光刻机
