李红斌
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：上海大学环境与化学工程学院化学工程与工艺系更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 电子束蚀刻聚酰亚胺制备微孔分离膜的研究被引量：2
- 2007年
- 以电子束蚀刻技术,结合微孔掩膜和溶液氧化腐蚀的方法,制备聚酰亚胺(Polyimide,PI)微孔分离膜。通过称重法,讨论了吸收剂量、腐蚀时间和腐蚀温度等因素对PI基膜蚀刻和腐蚀的影响,结果表明,随着吸收剂量、腐蚀温度和腐蚀时间的增加,PI基膜更容易被腐蚀;IR检测结果表明,辐照导致PI分子化学键断裂,分子量变小,是辐照PI腐蚀失重率增加的原因;试验对微孔铅和铁掩膜遮蔽的PI基膜进行电子束辐照,再用浓硫酸和重铬酸钾混合溶液腐蚀辐照PI基膜,得到具有规则且垂直孔道的聚酰亚胺微孔分离膜。
- 吴新锋李红斌郝旭峰周菲邓邦俊费舜廷周瑞敏
- 关键词：电子束辐照聚酰亚胺分离膜蚀刻
