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陶文秀

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 4篇机器人
  • 3篇硅片
  • 2篇单轴
  • 2篇单轴受压
  • 2篇电机
  • 2篇电机负载
  • 2篇信号
  • 2篇信号发射
  • 2篇升降台
  • 2篇手臂
  • 2篇受压
  • 2篇片盒
  • 2篇转动惯量
  • 2篇微凸体
  • 2篇结合面
  • 2篇晶圆
  • 2篇混凝土
  • 2篇混凝土标号
  • 2篇机床
  • 2篇机械手

机构

  • 8篇北京工业大学

作者

  • 8篇陶文秀
  • 5篇刘志峰
  • 5篇王冰
  • 5篇杨聪彬
  • 3篇张伯华
  • 2篇赵永胜
  • 2篇王皓
  • 2篇李伟凯
  • 1篇张涛

年份

  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 5篇2017
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
多轴单臂硅片传输高速抗振机器人误差标定
半导体行业发展迅速，硅片是一种广泛应用在半导体元器件上的材料，其价格昂贵，工艺复杂，精度要求极高，而硅片传输机器人是硅片在生产加工过程中的核心设备。硅片传输机器人末端的精度会严重影响硅片的质量，严重时会损坏硅片。为了提高...
陶文秀
关键词：硅片传输机器人运动学标定参数辨识误差补偿
采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构
本发明公开了采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构，机器人本体主要包括如下四个部分：底座机构、升降机构、旋转机构、手臂机构，升降机构安装在底座机构上，升降机构通过旋转机构与手臂机构连接。将T轴电机悬挂在Z轴升降...
刘志峰王冰陶文秀文俊武张伯华杨聪彬
文献传递
一种考虑混凝土微凸体破碎的机床-基础结合面接触刚度计算方法
本发明公开了一种考虑混凝土微凸体破碎的机床‑基础结合面接触刚度计算方法，该方法认为混凝土表面微凸体受较大载荷时会产生破碎现象，原本破碎的微凸体负载由其他未破碎的微凸体承担，继续有微凸体产生破碎，如此往复达到一种平衡状态。...
赵永胜王皓李伟凯戚泽华赵开瑞陶文秀
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一种应用于工业机器人的柔性末端连接装置
一种应用于工业机器人的柔性末端连接装置，该装置通过外部控制实现末端执行器的旋转与摆动方向有无柔性，并通过调节螺钉来调节柔性的大小。工业机器人与末端执行器通过柔性末端连接装置连接当通过外部气阀控制气动卡盘夹紧时，球形连杆末...
刘志峰王冰张伯华张涛陶文秀杨聪彬
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一种考虑混凝土微凸体破碎的机床‑基础结合面接触刚度计算方法
本发明公开了一种考虑混凝土微凸体破碎的机床‑基础结合面接触刚度计算方法，该方法认为混凝土表面微凸体受较大载荷时会产生破碎现象，原本破碎的微凸体负载由其他未破碎的微凸体承担，继续有微凸体产生破碎，如此往复达到一种平衡状态。...
赵永胜王皓李伟凯戚泽华赵开瑞陶文秀
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一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法
本发明公开了一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法，属于半导体搬运设备技术领域。硅片盒的插槽排列方式为梯形排列，上端有开口，从上向下看可以观测到每层硅片的边缘，红外线距离传感器安装在硅片盒的上方，信号发射路线沿竖直方向，...
刘志峰陶文秀杨聪彬王冰文俊武
文献传递
一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法
本发明公开了一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法，属于半导体搬运设备技术领域。硅片盒的插槽排列方式为梯形排列，上端有开口，从上向下看可以观测到每层硅片的边缘，红外线距离传感器安装在硅片盒的上方，信号发射路线沿竖直方向，...
刘志峰陶文秀杨聪彬王冰文俊武
采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构
本发明公开了采用母旋转式滚珠花键的双臂晶圆传输机器人旋转机构，机器人本体主要包括如下四个部分：底座机构、升降机构、旋转机构、手臂机构，升降机构安装在底座机构上，升降机构通过旋转机构与手臂机构连接。将T轴电机悬挂在Z轴升降...
刘志峰王冰陶文秀文俊武张伯华杨聪彬
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