刘阳
- 作品数：3 被引量：23H指数：2
- 供职机构：南京师范大学电气与自动化工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 纳米级超精密定位工作台的研究被引量：21
- 2011年
- 研制了一套基于激光莫尔信号的超精密定位工作台,定位台以微型计算机为核心,采用激光莫尔传感器检测位置偏差,通过光、机、电的有机结合,可实现纳米级超精密自动定位。定位装置采用串联型粗、微双驱动的精密定位系统,粗动台由步进电动机通过精密丝杠机构直接驱动,可实现大行程微米级定位,微动台由压电陶瓷驱动器驱动,可实现纳米级定位。针对系统存在非线性、时变性,经典PID控制无法达到理想控制效果的缺陷,提出基于BP神经网络的精密定位智能控制,可有效改善定位系统的动、静态性能,提高重复精度。试验结果表明,精密定位台的工作行程可达50 mm,定位精度为±10 nm,定位时间小于30 s。
- 张金龙刘阳郭怡倩刘京南内田敬久
- 关键词：莫尔信号神经网络智能控制
- 等离子体显示器屏板复合定位技术
- 2009年
- 针对荫罩式等离子体显示器屏板定位的特点,研究了基于计算机视觉的图像定位和基于衍射光栅的莫尔定位2种方法.利用这2种定位方法建立了精密定位的复合控制系统,其中图像定位作为粗定位,光栅定位作为精定位.通过粗定位与精定位相结合的两段式复合定位,可保证在较大的信号捕捉范围内,实现显示器屏板的高速高精度定位,有效地解决了定位精度、定位速度与信号捕捉范围三者之间的矛盾.实验结果表明,采用复合式精密定位可在50mm的工作行程内获得±1μm的屏板定位精度,这对荫罩式等离子体显示器的产业化具有重要的实用价值.
- 张金龙刘阳杨安康刘京南内田敬久
- 关键词：计算机视觉莫尔信号复合控制
- 基于反射光栅的超精密定位系统研究被引量：2
- 2010年
- 应用光学理论研究了一种μm级位移分辨率的反射型双级光栅测量系统,建立了反射莫尔信号与对应位移的数学模型,通过计算机仿真分析了反射莫尔信号的位移特性,进而设计了一套基于反射光栅的精密定位系统。系统取反射的0次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位置检测及超精密自动定位;采用的修正莫尔技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度及定位精度;通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位,实现高速高精度定位。实验结果表明,基于反射光栅的精密定位系统可获得±10nm的定位精度。
- 张金龙刘阳刘京南内田敬久
- 关键词：反射光栅莫尔信号复合控制
