贾松涛
- 作品数：12 被引量：38H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学一般工业技术更多>>
- 精密气浮XY工作台双边驱动控制技术研究
- 贾松涛
- 关键词：精密工作台模型辨识
- 一种6自由度微动工作台
- 一种6自由度微动工作台，属于超精密加工和检测设备技术领域。该微动工作台具有3组布置在水平面内的电磁力驱动单元，驱动微动工作台在水平面内X、Y、θ<Sub>z</Sub>3个自由度的运动；同时还具有3个沿竖直方向布置的电磁...
- 朱煜汪劲松张鸣李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
- 文献传递
- 一种光刻机硅片台双台交换装置
- 一种光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有基台，运行于预处理工位硅片台，运行于曝光工位的硅片台。在基台两侧长边边缘分别设置有一条直线电机定子与两个X方向运动的单自由度驱动单元组成直线电机，一条Y方向的导轨穿过硅片台，Y方向...
- 朱煜张鸣汪劲松李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
- 文献传递
- 一种6自由度微动工作台
- 一种6自由度微动工作台，属于超精密加工和检测设备技术领域。该微动工作台具有3组布置在水平面内的电磁力驱动单元，驱动微动工作台在水平面内X、Y、θ<Sub>z</Sub> 3个自由度的运动；同时还具有3个沿竖直方向布置的电...
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- 文献传递
- 双腔室空气弹簧性能研究被引量：4
- 2009年
- 在超精密加工/检测、IC制造及光学领域中,隔振器已经成为了许多设备的必要子系统,它能够对自地面或负载的振动进行隔/减振,有助于保证设备实现最终的设计精度。在众多的隔振器中,空气弹簧以其性价比高得到了广泛地应用,其固有频率基本不依赖于负载。在C.Erin的研究基础上,将节流孔数目参数引入,通过推导得到了空气弹簧的改进理论模型,并在此基础上分析了腔室、节流孔及或活塞等结构参数对空气弹簧动力学性能的影响,有助于进行结构的优化设计,同时得出在节流孔板高度即节流孔长度限制的条件下,减小节流孔直径并增加节流孔数量会提供较好的阻尼效果。最后通过试验验证了理论分析的结果,为以后的深入被动及主动隔振器的研究打下了基础。
- 徐登峰朱煜尤政贾松涛
- 关键词：隔振空气弹簧动力学
- 一种光刻机硅片台双台交换系统
- 一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在一基台上，在基台边缘设置有4个沿X向和Y向运动的双自由度驱动单元，两个硅片台位于4个双自由度驱动单元围成的空间内，...
- 朱煜张鸣汪劲松李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
- 文献传递
- 一种光刻机硅片台双台交换系统
- 一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在一基台上，在基台边缘设置有4个沿X向和Y向运动的双自由度驱动单元，两个硅片台位于4个双自由度驱动单元围成的空间内，...
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- 文献传递
- 精密工作台扰动观测器的设计被引量：11
- 2007年
- 针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工作台的定位精度、减小轨迹跟踪误差,采用扰动观测方法,基于直线电机精密工作台设计了前馈+反馈+扰动观测的控制器。详细讨论了扰动观测器的设计方法。实验结果表明,采用扰动观测器后,实现了±0.15μm的静态定位精度,以150 mm/s匀速运动时轨迹跟踪精度保持在±1.5μm的误差带范围内。扰动观测器能够有效地抑制低频噪声和克服参数变化的不利影响。
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- 关键词：精密工作台扰动观测器气浮导轨
- 双边驱动精密运动台振动特性研究被引量：1
- 2009年
- 双边驱动结构具有行程大、驱动力大、带宽高等优点,在平面两自由度气浮精密/超精密运动台中得到了广泛应用。双边驱动方式通常采用双边测量,这样不仅会导致阿贝误差,同时也会对系统的模型产生影响。本文针对平面两自由度双边驱动气浮精密运动台,通过仿真和辨识实验研究,对系统的共振和反共振问题进行了深入分析,为解决此类双边驱动结构的振动问题提供了理论依据。
- 贾松涛朱煜杨开明徐登峰王春洪
- 一种光刻机硅片台双台交换装置
- 一种光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有基台，两个预处理工位和一个曝光工位。在基台上设有运行于预处理工位硅片台，运行于曝光工位的硅片台。在基台两侧长边边缘分别设置有一条直线电机定子与两个X方向运动的单自由度驱动单元组成直...
- 朱煜张鸣汪劲松李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
- 文献传递
