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李广

作品数：25 被引量：8H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学水利工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇水利工程

主题

  • 18篇光刻
  • 16篇光刻机
  • 12篇工位
  • 10篇电机
  • 8篇直线电机
  • 7篇轴承
  • 7篇基台
  • 5篇双自由度
  • 4篇电磁
  • 4篇电磁力
  • 4篇运动控制
  • 4篇运动控制技术
  • 4篇微动
  • 4篇微动工作台
  • 4篇控制技术
  • 4篇磁浮
  • 3篇真空轴承
  • 3篇同步控制
  • 3篇摩擦轮
  • 3篇承接装置

机构

  • 25篇清华大学

作者

  • 25篇李广
  • 22篇朱煜
  • 22篇尹文生
  • 22篇张鸣
  • 20篇汪劲松
  • 20篇段广洪
  • 18篇徐登峰
  • 10篇胡金春
  • 10篇杨开明
  • 10篇闵伟
  • 6篇贾松涛
  • 4篇曹家勇
  • 2篇罗国安
  • 2篇许岩
  • 2篇李玉洁
  • 2篇张利
  • 2篇田丽
  • 2篇王清刚
  • 2篇程嘉
  • 2篇马竞

传媒

  • 1篇分析化学
  • 1篇分析仪器

年份

  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 11篇2009
  • 4篇2008
  • 4篇2007
  • 1篇2002
  • 2篇2001
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统
一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电...
朱煜张鸣汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明李广闵伟段广洪
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一种光刻机硅片台双台交换装置
一种光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有基台，两个预处理工位和一个曝光工位。在基台上设有运行于预处理工位硅片台，运行于曝光工位的硅片台。在基台两侧长边边缘分别设置有一条直线电机定子与两个X方向运动的单自由度驱动单元组成直...
朱煜张鸣汪劲松李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
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混凝土材料光纤传感力学模型与三维断裂测试分析
该文主要研究埋入式光纤传感器同混凝土相互作用的力学模型和实验技术.建立混凝土、涂层、纤芯三者之间相互作用的力学机制、导出涂层应变传递系数是该文的主要工作.该文建立了单轴压缩状态下的理想弹塑性光纤力学模型,并在考虑应变集中...
李广
关键词：光纤传感器理想弹塑性混凝土
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一种采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换系统
一种采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机...
朱煜张鸣汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明李广闵伟段广洪
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一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换系统
一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换系统，该系统主要应用于半导体光刻机中。本发明含有运行于预处理工位的硅片台、运行于曝光工位的硅片台和两个十字导轨驱动单元，每个十字导轨驱动单元包含X向直线电机、Y向直线电机和用以推动硅...
朱煜张鸣汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明李广闵伟段广洪
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采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换装置
采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换装置，属于半导体制造装备技术领域。本实用新型含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机...
朱煜张鸣汪劲松徐登峰尹文生胡金春杨开明李广闵伟段广洪
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纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用，主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈，永磁体固定于十字支架的末端，水平力线圈和竖直...
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大范围移动磁浮平面工作台
大范围移动磁浮平面工作台，涉及一种磁浮平面工作台，特别是一种大范围移动磁浮平面工作台，主要应用于制造设备与机器人领域。该工作台包括基台和移动台，所述移动台由平台和设置于平台底部的移动电磁结构组成，在基台顶部设置有平面永磁...
朱煜曹家勇张鸣尹文生汪劲松段广洪李广闵伟
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一种6自由度微动工作台
一种6自由度微动工作台，属于超精密加工和检测设备技术领域。该微动工作台具有3组布置在水平面内的电磁力驱动单元，驱动微动工作台在水平面内X、Y、θ<Sub>z</Sub>3个自由度的运动；同时还具有3个沿竖直方向布置的电磁...
朱煜汪劲松张鸣李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
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一种光刻机硅片台双台交换装置
一种光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有基台，运行于预处理工位硅片台，运行于曝光工位的硅片台。在基台两侧长边边缘分别设置有一条直线电机定子与两个X方向运动的单自由度驱动单元组成直线电机，一条Y方向的导轨穿过硅片台，Y方向...
朱煜张鸣汪劲松李广徐登峰尹文生段广洪贾松涛
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