喻波
- 作品数：58 被引量：37H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程医药卫生更多>>
- 基于遗传算法的磁控溅射速率空间分布反演方法
- 本发明公开了一种基于遗传算法的磁控溅射速率空间分布反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中磁控溅射速率空间分布的确定方法效率低，成本高的问题。本发明的反演方法，步骤如下：先选取三个到五个不同基片高度下的膜厚分布...
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- 文献传递
- 一种极紫外波段超宽带多层膜的制备方法
- 本申请公开了一种极紫外波段超宽带多层膜的制备方法，包括：制备不同周期厚度的Mo/Si周期性多层膜；得到第一界面扩散层的平均厚度及第二界面扩散层的平均厚度，并得到Mo膜层厚度、Si膜层厚度与基底公转速度的关系式；根据指标要...
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- 文献传递
- 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备被引量：6
- 2012年
- 极紫外光刻是实现22nm技术节点的候选技术。极紫外光刻使用的是波长为13.5nm的极紫外光,但在160～240nm波段,极紫外光刻中的激光等离子体光源光谱强度、光刻胶敏感度以及多层膜的反射率均比较高,光刻胶在此波段的曝光会降低光刻系统的光刻质量。从理论和实验两方面验证了在传统Mo/Si多层膜上镀制SiC单层膜可对极紫外光刻中的带外波段进行有效抑制。通过使用X射线衍射仪、椭偏仪以及真空紫外(VUV)分光光度计来确定薄膜厚度、薄膜的光学常数以及多层膜的反射率,设计并制备了[Mo/Si]40SiC多层膜。结果表明,在极紫外波段的反射率减少5%的前提下,带外波段的反射率减少到原来的1/5。
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- 关键词：多层膜极紫外
- 具有极紫外光谱纯度和抗辐照损伤的多层膜
- 本发明公开了一种具有极紫外光谱纯度和抗辐照损伤的多层膜，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中极紫外多层膜在带外波段的反射率比较高，在高能量激光辐照下，极紫外波段的反射率严重下降的技术问题。本发明的多层膜从下至上依次包...
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- 文献传递
- 一种EUV多层膜光学元件的综合测试装置及其测试方法
- 本发明涉及一种EUV多层膜光学元件的综合测试装置及其测试方法，所述EUV多层膜光学元件的综合测试装置包括测试单元、气体注入模块以及ArF激光模块，所述ArF激光模块为测试单元提供ArF激光，本发明利用ArF激光辐照方式实...
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- Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究被引量：3
- 2020年
- Mo/Si多层膜镀膜工艺是极紫外光刻的关键技术之一,为了优化并提升Mo/Si多层膜的镀膜工艺,研究了气压、靶-基底间距这两个工艺参数对Mo/Si多层膜表面粗糙度的影响。根据磁控溅射物理过程,建立了一个原子沉积的物理模型,分析了原子沉积到基底时的入射角度和入射能量分布对气压、靶-基底间距的影响。此外,利用直流磁控溅射镀膜机,制备了Mo/Si多层膜样片,并测量了膜表面粗糙度和功率谱密度,研究了膜表面粗糙度和功率谱密度随气压和靶-基底间距的演化规律。理论和实验的结论一致,所提模型从理论上解释了实验测量结果。
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- 关键词：MO/SI多层膜极紫外光刻磁控溅射表面粗糙度功率谱密度
- 一种具有能量回收功能的极紫外收集镜及其制备方法
- 本申请提供的具有能量回收功能的极紫外收集镜，包括：基底、设置于所述基底上的多层膜、设置于所述多层膜上的表面反射微结构及沉积于所述表面反射微结构的红外反射层，本发明提供的极紫外收集镜，当红外反射层指向主焦点点时，来自主焦点...
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- 基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法
- 基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中单层膜的光学常数的反演方法极易陷入局部极小值的问题。本发明的方法步骤如下：先通过单层膜的目标光学常数和目标膜厚，计算单层膜在固定波长、不同...
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- 测量光学薄膜厚度或均匀性的方法
- 本发明描述了一种采用双波长法测量薄膜厚度和均匀性的方法。该方法包括提供第一光线和第二光线，所述第一光线的波长与所述第二光线的波长不相同；将所述第一光线和所述第二光线以预设的入射角照射所述光学薄膜；获取所述光学薄膜对所述第...
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- 文献传递
- 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置
- 本发明提供的极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置，在真空环境中，通过实时检测极紫外光学元件表面的污染层厚度，当污染层厚度达到预设的第一阈值，即超出允许的范围时对污染层进行清洗，控制污染层的厚度在允许的范围之内，不需...
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- 文献传递
