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李丹东

作品数：6 被引量：2H指数：1
供职机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：长江学者奖励计划更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇单传感器
  • 2篇四象限探测器
  • 2篇探测器
  • 2篇装调
  • 2篇测杆
  • 2篇测力
  • 2篇触发
  • 1篇电感传感器
  • 1篇形貌
  • 1篇支腿
  • 1篇直线度
  • 1篇三维形貌
  • 1篇设计图案
  • 1篇竖向
  • 1篇数值孔径
  • 1篇探头
  • 1篇探头系统

机构

  • 6篇合肥工业大学
  • 1篇安徽电气工程...

作者

  • 6篇李丹东
  • 5篇李瑞君
  • 4篇范光照
  • 3篇程真英
  • 2篇陈晨
  • 1篇王鹏宇
  • 1篇何亚雄
  • 1篇程琳
  • 1篇陈晶
  • 1篇周斌

传媒

  • 1篇合肥工业大学...

年份

  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
基于电感传感器的手机壳内部三维尺寸检测装置
本发明公开了一种基于电感传感器的手机壳内部三维尺寸检测装置，包括光学平台，光学平台上设有沿左右X向走向的滑轨，滑轨上左端装配有电动三维位移平台，电动三维位移平台由X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台构成，Z轴位移平台...
李瑞君李丹东何园涛范光照程真英
文献传递
单传感器式三维微纳米接触触发测量探头
本发明公开了一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是在基座中分别设置测头单元和测量单元，其测头单元将簧片支承在圆环座上，在簧片上设置圆形悬浮片，在圆形悬浮片上固定设置分光棱镜和楔形块，测杆与圆形悬浮片呈“T”形...
李瑞君陈晨李丹东范光照程真英
文献传递
单传感器式三维微纳米接触触发测量探头
本发明公开了一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是在基座中分别设置测头单元和测量单元，其测头单元将簧片支承在圆环座上，在簧片上设置圆形悬浮片，在圆形悬浮片上固定设置分光棱镜和楔形块，测杆与圆形悬浮片呈“T”形...
李瑞君陈晨李丹东范光照程真英
文献传递
一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法
本发明公布了一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法，其特征在于：采用化学蚀刻的方法制作高灵敏弹性簧片，包括设计图案、菲林片打印、铍铜片表面处理、贴覆感光膜、加固感光膜、曝光、显影、腐蚀和脱膜九个步骤。本发明的...
李瑞君王鹏宇李丹东何亚雄范光照
文献传递
形貌与边缘复合测量探头系统
为了设计一种形貌与边缘复合测量系统，能够兼具形貌、边缘、阶高等多种测量功能，本文主要完成了如下几项工作:　　1、设计并搭建了基于干涉原理的光路系统。利用Linnik型相移显微干涉测量原理对微观表面形貌三维重建，使用五步相...
李丹东
关键词：三维形貌边缘检测误差分析
基于蓝光DVD光学读取头的非接触式探头被引量：2
2017年
为解决微小器件的高精度、高分辨率的测量问题,文章研制了一台基于蓝光DVD光学读取头的非接触式探头,实现了对微小尺寸的三维高精度测量。该探头的设计是对市售的蓝光DVD光学读取头的改进,改装后使用数值孔径为0.85的聚焦透镜。蓝光DVD光学读取头发出波长405nm的蓝光扫描被测量器件,减小了聚焦弥散斑直径,提高了探头的分辨率。对组装好的探头进行了测试,实验结果证实,该探头的分辨率优于1nm,对阶高为2μm的标准器件重复测量的标准差为21nm。
程琳李丹东周斌陈晶李瑞君
关键词：数值孔径
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