范光照
- 作品数：76 被引量：160H指数：8
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 一种基于悬浮激光结构的三维接触触发式测量探头
- 本发明公开了一种基于悬浮激光结构的三维接触触发式测量探头，包括弹性机构，悬浮片通过弹性簧片固定在弹性机构支撑件上，探针固定安装在悬浮片的底部，激光器通过激光器固定座固定在悬浮片的顶部，激光器的出射光轴与探头圆柱筒体的轴线...
- 李瑞君许鹏丰孝宇范光照
- 文献传递
- 微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统被引量：7
- 2006年
- 采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。
- 陈叶金范光照刘玉圣
- 关键词：计量学音圈马达
- 三坐标测量机微纳探头的设计与验证被引量：6
- 2018年
- 介绍了国内外测量探头的研究现状;设计了基于簧线和簧片的弹性机构,建立了典型结构:弹性机构的刚度模型,对不同形状的弹性机构进行了仿真验证;介绍了作者团队研制的几种光学传感器及八款三坐标测量机微纳探头,对探头的性能进行了实验验证与测试;对三坐标测量机微纳测量探头的研究和发展趋势进行了总结和展望。
- 范光照李瑞君
- 关键词：计量学探头
- 接触触发式探头结构优化设计被引量：2
- 2016年
- 设计了一种适用于微纳米三坐标测量机的高灵敏度接触触发式探头。介绍了该探头的结构和原理，建立了探头的灵敏度模型和刚度模型，依据三维方向等灵敏度和等刚度的原则，利用最优化方法得出了探头结构参数的最优解。对探头的刚度进行了仿真验证；分别对探头的刚度、分辨率以及稳定性进行了实验测试。实验结果表明：该探头在三维方向上的刚度均小于1mN／μm，且近似相等；分辨率高于50nm；当环境温度的波动范围小于±0．025℃时，探头在1．3h内的漂移量为20nm。
- 向萌李瑞君李心愿范光照
- 关键词：计量学三坐标测量机参数优化
- 三维微纳米接触扫描探头
- 本发明公开了一种三维微纳米接触扫描探头，其特征是：在前段圆筒内，迈克尔逊干涉仪固定设置在安装盒中；在后段圆筒中，二维角度传感器固定安装在安装板上；在前段圆筒的前端面上设置一固定圆环，在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字悬...
- 李瑞君范光照黄强先钱剑钊陶胜
- 文献传递
- 光学传感式三维高精度接触扫描测量探头
- 本发明公开了一种光学传感式三维高精度接触扫描测量探头，其特征是测头单元是在圆环座的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片的各悬臂端固定连接对应位置上的“V”型悬臂簧片的顶端，“V”型悬臂簧片的两个底端固定连接在圆环座上，形成十字...
- 李瑞君何亚雄唐帅涛范光照程真英
- 文献传递
- 单传感器式三维微纳米接触触发测量探头
- 本发明公开了一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是在基座中分别设置测头单元和测量单元，其测头单元将簧片支承在圆环座上，在簧片上设置圆形悬浮片，在圆形悬浮片上固定设置分光棱镜和楔形块，测杆与圆形悬浮片呈“T”形...
- 李瑞君陈晨李丹东范光照程真英
- 文献传递
- 基于电感传感器的手机壳内部三维尺寸检测装置
- 本发明公开了一种基于电感传感器的手机壳内部三维尺寸检测装置，包括光学平台，光学平台上设有沿左右X向走向的滑轨，滑轨上左端装配有电动三维位移平台，电动三维位移平台由X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台构成，Z轴位移平台...
- 李瑞君李丹东何园涛范光照程真英
- 文献传递
- 基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术被引量：9
- 2007年
- 提出了一种基于正交衍射光栅作为测量基准元件的二维激光干涉测量系统.利用正交光栅的空间对称级的衍射光进行干涉,基于多普勒效应,采用偏振检测的方法获得相位相差90°的干涉信号.通过光电检测把获得的正弦和余弦信号进行相位细分,系统可在平面二维方向上实现纳米级的分辨率.该系统相比其他干涉测量系统,测量结构紧凑,环境因素对其影响较小,可应用于较大行程的平面微位移精密检测.
- 夏豪杰费业泰范光照程方
- 三维微纳米接触扫描探头
- 本实用新型公开了一种三维微纳米接触扫描探头，其特征是在前段圆筒内，迈克尔逊干涉仪固定设置在安装盒中；在后段圆筒中，二维角度传感器固定安装在安装板上；在前段圆筒的前端面上设置一固定圆环，在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字...
- 李瑞君范光照钱剑钊王志伟张珂
- 文献传递
