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程琳

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：安徽电气工程职业技术学院更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇数值孔径
  • 1篇探头
  • 1篇蓝光
  • 1篇蓝光DVD
  • 1篇非接触
  • 1篇非接触式

机构

  • 1篇安徽电气工程...
  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇李瑞君
  • 1篇程琳
  • 1篇李丹东
  • 1篇陈晶
  • 1篇周斌

传媒

  • 1篇合肥工业大学...

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于蓝光DVD光学读取头的非接触式探头被引量：2
2017年
为解决微小器件的高精度、高分辨率的测量问题,文章研制了一台基于蓝光DVD光学读取头的非接触式探头,实现了对微小尺寸的三维高精度测量。该探头的设计是对市售的蓝光DVD光学读取头的改进,改装后使用数值孔径为0.85的聚焦透镜。蓝光DVD光学读取头发出波长405nm的蓝光扫描被测量器件,减小了聚焦弥散斑直径,提高了探头的分辨率。对组装好的探头进行了测试,实验结果证实,该探头的分辨率优于1nm,对阶高为2μm的标准器件重复测量的标准差为21nm。
程琳李丹东周斌陈晶李瑞君
关键词：数值孔径
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